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一种适用于湿度传感的表面等离子微环传感器.pdf
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第 卷 第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析
３５ ９ Ｖｏｌ．３５ Ｎｏ．９ ２６６０-２６６４
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年 月 ，
２ ０ １ ５ ９ Ｓ ｅｃｔｒｏｓｃｏ ａｎｄ Ｓ ｅｃｔｒａｌ Ａｎａｌ ｓｉｓ Ｓｅ ｔｅｍｂｅｒ ２０１５
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一种适用于湿度传感的表面等离子微环传感器
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李志全 安东阳 张 鑫 赵玲玲 沙晓鹏 郭士亮 李文超
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１．燕山大学电气工程学院 河北 秦皇岛 ０６６００４
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２．东北大学秦皇岛分校控制工程学院 河北 秦皇岛 ０６６００４
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摘 要 提出了一种适用于湿度传感的表面等离子微环传感器 该传感器纵向上采用表面等离子多层波导
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结构 横向上采用 型微环结构 以聚酰亚胺 为感湿材料 根据传输矩阵法推导表面等离子
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微环传感器结构的传递函数 外界环境的相对湿度变化引起聚酰亚胺的折射率变化 从而多层波导结构的
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有效折射率发生改变 导致传感器的输出光谱发生漂移 重点分析讨论了多层波导结构的传输特性以及感
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湿部位折射率的变化对输出光谱的影响 根据计算和仿真得出 当 型波导的两个耦合点间的距离为微环
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