Sn、Cr掺杂In2O3薄膜的制备及其光敏性质的研究.pdf

摘要 In203为透明导电氧化物，具有良好的导电性、高的可见光透光性，对紫外光强烈 吸收，适用于红外光与可见光强烈干扰，紫外环境相对干净的环境中。紫外探测技术在 人们的日常生活中有着重要的作用，尤其是在可燃性气体尾焰探测、火警探测、光敏皮 肤的检测、食品消毒等方面具有不可替代性。目前国内外对于№03的紫外光敏性能的 研究还鲜有报道，因此开展对In203薄膜的紫外光敏特性的研究具有重要意义。 膜和Sn、Cr共掺In203薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、X 射线光电子能谱仪分别对薄膜晶体结构、表面形貌、表面粗糙度、元素价态进行了分析， 并利用霍尔测试仪测量了薄膜的载流子浓度、迁移率、电阻率。通过紫外．可见分光光 度计和紫外光敏测试仪分别研究了薄膜的透光率、光敏性能。研究结果表明： l’l所制备的薄膜的晶体结构均为体心立方，所有衍射峰均为崦03的衍射峰，并没 晶格发生畸变。 2)薄膜的表面形貌、粗糙度与择优取向、晶粒大小有关。(400)取向择优生长的薄 膜表面为锯齿状，粗糙度较大。而(222)择优取向生长的薄膜表面为光滑的片状，粗糙度 较小。随着衬底温度增加，薄膜的晶粒尺寸逐渐增大，粗糙度增加。随着氧流量增加， 薄膜表面粗糙度均方根最大为25衄。 3)霍尔测量发现，随着衬底温度的增加，薄膜的载流子浓度增加，迁移率先增加 1旷Q锄， 1021锄-3，此时电阻率最小为2．88x In203薄膜载流子浓度达到最大为1．29x cmo，电阻率 同条件下，O．23at％Sn、1．29at％Cr共掺IIl203薄膜流子浓度达为9．09×102u 为3．27×10。3 是由于Cr离子以Cr2+和c，的方式进入h1203晶格内，分别替代了IIl”与Sn4+。 4)薄膜的透光率与载流子浓度、表面粗糙度有关。所制备的薄膜的对紫外光均有 很强的吸收作用。载流子浓度越高，表面越粗糙，透光率越低。Sn单掺与Sn、Cr共掺 的№03薄膜对可见光透光率为75％左右，满足紫外探测器的要求。根据透光率与吸收 系数、光学带隙问的关系，计算出薄膜带隙。结果发现薄膜的光学带隙与载流子浓度的 5)研究表明所制备薄膜对紫外光的灵敏度与薄膜致密性及表面粗糙度有关，而与 薄膜的载流子浓度、迁移率、电阻率影响较小。薄膜致密度越差、表面粗糙度越高，对 紫外光的灵敏度越高，响应时间越长。衬底温度同为600℃时，氧流量为O．4sccm，Sn、 Sn掺杂Sn、Cr共掺光敏性能 关键词：h1203 2 AbStract kind isone oxid髓晰nla In203 of仃a吣p撇tconducting 900dconductiⅥ劬lligll 仃锄smitt锄ceofvisible t0its light，ul仃aVioletlights仃onglyabsorbingpropeny．Dueg∞d de眦r t0ttIeen“r0珈fIIeIltwllichcontains prop硎es，h1203prc!p删Ul觚啊oletcan印ply ofin胁d Visible oful仃撕olet large锄0u【nt li出觚d li咖but锄all锄ountli出．111e Ul仃蜀rvioletdetection c锄notbe others role technolog)，whichlIeplacedby play