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电沉积铜箔的工参数和拉伸性能研究
摘要
本文采用电沉积方法制得厚度为309in左右的铜箔,采用数码相机、扫描电
镜(SEM)、电子万能试验机对铜箔沉积速率、表面形貌及拉伸性能进行分析。
结果表明:电解液pH值、极板间距对电沉积速率影响不大;在65℃、pH
值为2.3、极板间距选择在20—30mm时,沉积的阴极铜箔表面平整光滑,组织
均匀细小,抗拉强度较大,接近100MPa。不同的电沉积方式中电沉积速率均随
电流密度增大而提高;相同电流密度时,直流搅拌沉积速率低于直流静态沉积速
率,静态脉冲电沉积速率随周期增大而提高。静态和低速搅拌沉积的阴极铜箔在
电流密度300A/m2时的表面平整光滑,组织致密均匀;高速搅拌时,在400A/m2
的电流密度下比300A/m2的电流密度下得到的阴极铜箔的质量更好。脉冲电沉积
在45C、周期10.20ms时能获得平整光滑,组织致密均匀的阴极铜。从拉伸性
能上来说,直流静态电沉积抗拉强度可以达到98.5MPa,直流搅拌态电沉积铜
箔抗拉强度比静态更高,可以达到125MPa,脉冲电沉积铜箔的拉伸性能最差,
只能达到54
硫脲0.01
g/L、十二烷基磺酸钠0.019/L时获得的阴极铜箔表面平整光滑,组织
均匀细致,CuClr2H20和添加剂用量过高或过低都会引起铜箔表面出现粒状突
起,影响铜箔质量。
关键词: 电沉积;铜箔;pH值;极板间距;电流密度;添加剂;拉伸性能
ABSTRACT
foilwiththicknessof30 was
The pm preparedby
copper
of onthe rate,surface
theeffectsthe deposition
analyzed processparameters
thetensile
a and
andtensile camera,SEM properties·
morphologystrengthbydigital
electrodes
thedistancebetweentwo
thatthe valueand
TheresultsindicatedpH
littleeffectonthe rate.The foilwithasmooth
have deposition electrolyticcopper
tissueanda tensile to100 beobtained
surface,small large strength(closeMPa)could
twoelectrodesof20~30mm.
2~3anddistancebetween
at65℃withvalueof
pH
ofcurrent indifferent
ratesincreasedwiththe density
1nhe increasing
deposition
thesamecurr
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