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三维叠层dram封装中硅通孔开路缺陷的模拟
圈 j‘脚 惹 瑟 ————————元先进迓封装技术
维叠层 DRAM 封装中硅通孔
三
开路缺陷的模拟
LiJiang一,YuxiLiu,LianDuan,YuanXie,andQiangXu,
r1.CUhkREliablecomputinglaboratory(cuER )DepartmentofComputerScienceEngineering,
TheChineseUniversityofHongKong,Shatin,N.T.,HongKong:
2.DepartmentofComputerScience EngineeringPennsylvaniaStateUniversity,USA:
3.ShenzhenInstitutesofAdvancedTechnology,ChineseAcademyofScience)
摘 要 :采用硅通孔 (TSV)技术的三维堆叠封装 ,是一种很有前途的解决方案,可提供微 处理器低
延迟 .高带宽的DRAM 通道。然而,在 3DDRAM 电路中,大量的TSV互连结构,很容易产生开路缺
陷和耦合噪声.从而导致了新的测试挑战。通过大量的模拟研究,本文模拟了在三维DRAM 电路的
字线与位线中出现的TSV开路缺陷的故障行为,它作为有效测试和诊 断这种缺陷方法的第一步。
关键词 :三维堆叠封装 ;硅通孔;开路缺陷;耦合噪声;测试方法;诊 断方法
中图分类号 :TH132 文献标识码 :A 文章编号 :1004—4507(2011)01—0029-13
M odelingTSV Open Defectsin 3D-StackedDRAM
LiJiang一,YuxiLiu,LianDuan,YuanXie,andQiangXu ·
(1.CUhkREliablecomputinglaboratory(CURE)DepartmentofComputerScience&Engineering,
TheChineseUniversityofHongKong,Shatin,N.T.,HongKong;
2.DepartmentofComputerScience& EngineeringPennsylvaniaStateUniversity USA;
3.ShenzhenInstitutesofAdvancedTechnology,ChineseAcademyofScience)
Abstract:Three.dimensional (3D)stackingusingthroughsiliconvias (TSVs)isapromising
solutiontoprovidelow—latency andhigh—bandwidthDAR M accessfrom microprocessors.Thelarge
numberofTSVs implemented in 3D DAR M circuits,however,are prone to open defectsand
couplingnoises,leading tonew testchallenges.Through extensive simulation studies,thispaper
modelsthe faultybehaviorofTSV open defectsoccurred on thewordlinesand thebitlinesof3D
DRAM circuits,which servesasthefirststep forefficientand effectivetestanddiagnosissolutions
f0rsuch defects.
Keywords:3D—stacking;TSV;opendefects;couplingnoises;testsolutions;diang osissolut
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