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三维叠层dram封装中硅通孔开路缺陷的模拟

圈 j‘脚 惹 瑟 ————————元先进迓封装技术 维叠层 DRAM 封装中硅通孔 三 开路缺陷的模拟 LiJiang一,YuxiLiu,LianDuan,YuanXie,andQiangXu, r1.CUhkREliablecomputinglaboratory(cuER )DepartmentofComputerScienceEngineering, TheChineseUniversityofHongKong,Shatin,N.T.,HongKong: 2.DepartmentofComputerScience EngineeringPennsylvaniaStateUniversity,USA: 3.ShenzhenInstitutesofAdvancedTechnology,ChineseAcademyofScience) 摘 要 :采用硅通孔 (TSV)技术的三维堆叠封装 ,是一种很有前途的解决方案,可提供微 处理器低 延迟 .高带宽的DRAM 通道。然而,在 3DDRAM 电路中,大量的TSV互连结构,很容易产生开路缺 陷和耦合噪声.从而导致了新的测试挑战。通过大量的模拟研究,本文模拟了在三维DRAM 电路的 字线与位线中出现的TSV开路缺陷的故障行为,它作为有效测试和诊 断这种缺陷方法的第一步。 关键词 :三维堆叠封装 ;硅通孔;开路缺陷;耦合噪声;测试方法;诊 断方法 中图分类号 :TH132 文献标识码 :A 文章编号 :1004—4507(2011)01—0029-13 M odelingTSV Open Defectsin 3D-StackedDRAM LiJiang一,YuxiLiu,LianDuan,YuanXie,andQiangXu · (1.CUhkREliablecomputinglaboratory(CURE)DepartmentofComputerScience&Engineering, TheChineseUniversityofHongKong,Shatin,N.T.,HongKong; 2.DepartmentofComputerScience& EngineeringPennsylvaniaStateUniversity USA; 3.ShenzhenInstitutesofAdvancedTechnology,ChineseAcademyofScience) Abstract:Three.dimensional (3D)stackingusingthroughsiliconvias (TSVs)isapromising solutiontoprovidelow—latency andhigh—bandwidthDAR M accessfrom microprocessors.Thelarge numberofTSVs implemented in 3D DAR M circuits,however,are prone to open defectsand couplingnoises,leading tonew testchallenges.Through extensive simulation studies,thispaper modelsthe faultybehaviorofTSV open defectsoccurred on thewordlinesand thebitlinesof3D DRAM circuits,which servesasthefirststep forefficientand effectivetestanddiagnosissolutions f0rsuch defects. Keywords:3D—stacking;TSV;opendefects;couplingnoises;testsolutions;diang osissolut

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