下世纪初微电子机械系统的发展.pdfVIP

维普资讯 第 34卷 第 !期 半 导 体 情 报 Vol34 No．2 1997年 4月 SEM o州)UCTOR lNFORMAT10N Apr 1997 ／／- … 第 豢 ， ， 关键词 查堡丝垫垫 兰 表面微机械加I 丝曼i扭擅盎缠 传感器 执行器 DevelopmentofM EM Satthe 擦 y LiShuanqing (The13thInstitute．MinistryofE1，Shijiaxhuang．050051) Abstract Fourfundamentalmanufactufi“g technologiesnamely bulk m icromachining， surfacemicromachining，mouldingandwaferbondingareintroducedforMicroElectro M echanical—System (M EM S)．A Discussionisfocusedonintegratedprocessesthatwill enableitherealizationofM EM Sbreakthrough．Finallytherecentadvanceofsensors，ac— tuatorsandM EM Saresummarizedbriefly． Keywords Bulkm icromachining Surfacem icromachining M icro—Electro—Mechanical System Sensor AClUator 1 引 言 以说是一门多学科的综合技术。它研究的主要 当今重要的机械和系统进一步向微小型化 内容包括微型传感器、微型执行器和复杂的微 和多功能化方向发展 ，进而对相当于感觉器官 系统。MEMS是 由较小的0．5～500t~m的可动 的传感器和运动器官的执行器提出了微小型化 子元件构成的机器 。MEMS的历史可以追溯到 和多功能化的要求 。半导体徽细加工技术的 日 60年代初期 6O年代开发出了MEMS用的重 要技术—— 晶体各 向异性腐蚀和 阳极键合技 益成熟和完善为传感器和执行器向微小型化发 裂提供 了技术基础 。在这种情况下诞生丁微 电 术。70年代进行了具体的传感器和执行器的研 究。80年代 已取得了初步成果 ．研制 出了齿轮、 子机械系统 (MEMS)这一新兴的学科 MEMS涉及到微 电子学、自动控制、光学、 曲柄、弹簧和微型电极 以及更为复杂的微系统。 气动力学、流体力学和声学磁学等多种领域 ，可 9O年代有的微系统 已经进入实际应用 ，如汽车 维普资讯 防撞气囊用的加速度传感器 成本仅为5美元 2 MEMS制作技术 左右 实现 MEMS的制作工艺是常规集成 电路 MEMS的代表特征是超小型化 、尺寸可以 工艺和硅微 机械 加工 的独特技术 的结 合 。 做到微米和亚微米。其最大特征就是制作工艺