用于多组分微图形制备的级联缩微方法及影响因素研究.pdfVIP

维普资讯 电 子 显 微 学 报 Vo1．26．No．2 第 26卷 第 2期 2007年 4月 JournalofChineseElectronMicroscopySociety 20o7．04 文章编号 ：1000．6281(2007)02—0130—08 用于多组分微图形制备的级联缩微方法 及影响因素研究 李 海 一，武海萍 ，黄一波 ，张晓东孙 ，欧阳振乾 ，张 益 ，胡 钧 (1．中国科学院上海应用物理研究所 ，上海 201800；2．上海交通大学，生命科学技术学院， 纳米生物学实验室，上海 200030；3．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘 要 ：固体材料表面图案化微结构的制备是实现其功能化的一条重要途径 ，也是当前的一个研究热点。本文介 绍 了一种具有较高保真度和精度 的制备 多组分微米图形的新方法——级联缩微方法 (serialcontractionandadsorpfon nanolithographY，SCAN)。展示 了利‘用一维SCAN方法制备 的彩色墨水的微米级线条 图形 (线宽约 1 和4p．m)、用二 维SCAN方法制备的彩色墨水的微米级点阵(直径为 30 )以及 多色文字 的微 图形。采用光学显微镜成像和原子 力显微镜成像两种手段研 究和讨论 了影响级联微缩 的因素 ，探讨 了该方法的限度和潜在的应用前景 。 关键词 ：微 图形 ；级联缩微 ；制备方法；多组分 中图分类号：TN603．5；TH742 文献标识码 ：A 微图案化技术是指在二维平面或三维空间上制 的针尖点印样品，制备的图形精度很高，可在纳米尺 备纳米或微米级 、物理或化学性质不同的规则微结 度上进行操作 ，也可制作多组分图案 ，但需要多次点 构的技术 ，其显著特点是图样复杂、具有高集成度或 印，且每批次只能在表面上用一种材料点印，多种组 高密度。除了微电子领域 ，它在新材料 、微反应器 、 分时需要多次重定位操作，制备速度较慢 刮；喷墨 微分析 、微传感器 、组合化学、药物筛选 、防伪技术 以 打印技术可 以按照预先设计好 的图形进行打印，虽 及生物技术等领域也 日益显示 出重要科学意义和实 能较快速地制备大面积的多组分图形 ，但 由于受喷 用价值。固体材料表面图案化微结构的制备是实现 头大小和喷点定位 能力 的限制 ¨ ，分辨率较低 ，在 其功能化的一条重要途径 ，也是当前研究 的一个热 微米和亚微米尺度的应用上存在较大困难。 点¨“]。现已有许多方法在固体材料表面构建微米 针对这 一 问题 ，本研 究组 和加 州大学 Gang．yu 和纳米级的微图案 ，如光蚀刻技术 、微流体通道技 Liu研究组合作发展并报道 了一种多组分微 图形 的 术 ]、电子束蚀刻 、聚焦离子束蚀刻 ]、极紫外蚀 快速制备方法——级联微缩方法 (serialcontraction 刻 、软蚀刻法 lO]、自组装 技术 l1]、DPN(dip．pen andadsorptionnanolithography，SCAN) 。通 过 这种 nanolithography)技术 ¨和喷墨打印技术 “等，但 能 方法 ，可以把由多组分材料构成的厘米或毫米级 的 够进行多组份微 图案构造的方法很少。多组份微图 较大图形平行 、快速地缩小至微米级 。已发表 的工 案制作技术 目前是超高密度生物芯片 和光致发 作 中未对影响 SCAN的因素进行详细讨论。本文 光显示器件制备 ¨等迫切需要的技术 ，在生物微传 首先简单介绍 SCAN的实现策略，在实验部分展示 感器和彩色防伪领域也是具有挑战性的研究课题 。 通过 SC