用于扫描电镜图像放大倍率校准的三个微米级栅网图形标准样板的研究.pdfVIP

维普资讯 第 24卷 第 3期 电 子 显 微 学 报 Vo1．24．No．3 2005年6月 JournalofChineseElectronMicroscopySociety 2oo5．6 文章编号：1000—6281(2005)03—0185—07 用于扫描电镜图像放大倍率校准的三个微米级 栅网图形标准样板的研究 周剑雄，陈振宇 (中国地质科学院矿产资源研究所，北京 100037) 摘 要：本文是一篇有关用于扫描电镜图像放大倍率校准的三个微米级栅网图形标准样板的研究报告。这三个 标准样板 (G125、G250、G4)为铜质栅 网网格 ，包含6个设计标称值分别为 12．50／tm(G125)、25．00m(G250)、62．5Om、 82．5O邮 、125．00m、165．OOFm(G4)的网格 。样板 已经过均匀性 、稳定性检查并对栅 网网格线距进行了检定。这三个 标准栅网样板可有几个作用：(1)同时时两个垂直方向上的扫描电镜图像放大倍率进行检查或校准，是一组调整低 倍图像放大倍率的图形标准样板 ；(2)对图像 x、Y方向的畸变和边缘的畸变进行校验，是评价扫描电镜图像质量的 一 个重要工具；(3)用于同一量级物体长度的精确比对测量。 关键词 ：栅 网图形；扫描 电镜 ；放大倍率校准 ；标准样板 中图分类号：TGI15．215．3；TN16 文献标识码 ：A 扫描电镜作为一种微小尺度样品的观测分析手 国家物理实验室(NPL)、俄联邦 GOSTR及 日本的质 段，在高科技研究和国民经济的许多重要部门都有 量认可组织(JQA)都已经发布了多个不同线距的标 广泛的应用。目前绝大多数扫描电镜只在仪器出厂 准参考物质(SRM)或实物标准(RM)①。国外许多公 或验收时由生产商的工程师根据厂家提供的栅网或 司，如美国的VLSI标准公司、PELCO公司、德国的 其他样板对仪器图像进行简单的校准，而由于扫描 VEECO公司、NANOSENSORS公司、日本 的HITACHI 电镜是采用电子束逐点逐行扫描成像，X、Y方向的 公司等也研制出一些可用于扫描电镜图像放大倍率 扫描图像尺寸将受X、Y方向扫描电子线路的影响。 校准的实物标准 ’。 随着使用时间的增加，仪器的各种 电子线路可能发 我们从2003年开始，在国家科学技术部的支持 生变化，由此影响扫描电镜图像的性能。如在测量 下 ，开展了一项有关微米、纳米长度测量的某些标准 物体长度时，普遍与准确值之间存在不同程度的偏 方法和标准参考物质的研究，其中扫描电镜图像放 差，也常发现因 X、Y方向的扫描不同造成图像在 大倍率校准用的标准样板研制是一项重点研究内 X、Y方向的放大倍率不同，且在不同放大倍数下X、 容。由于不同放大倍率范围需要不同长度的标准样 Y方向所给出的测量值的Y／X系数也不一样；此外， 板 ，我们设计了一套从百微米～十微米，微米一亚微 扫描电镜的图像还常发生畸变，尤其在低倍情况下 米 以及百纳米级的三个系列的标准参考样板¨。 更为严重。因此，在扫描电镜、电子探针仪器的检定 本文是其中第一系列即三个百微米 ～十微米量级的 规程 中已明确规定应定期对其放大倍率等多项 栅 网标准样板的初步研究报告。 图像性能指标使用适当的标准样板进行校准。但从 1 样板的设计和制备 几个扫描电镜实验室的使用情况来看，由于没有统 一 的常备的标准样板供调整校准，以上这些图像放 两个方向上的周期性线距结构，或者说是栅网 大倍率偏差及图像畸变的现象是普遍存在的。 状结构，是对诸如光学显