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低维功能氧化物料的透射电子显微学研究

摘要 本论文主要利用透射电子显微学对Bio.4Cao.6Mn03外延薄膜的微观结构及其物 理性能进行了详细的研究。 本论文共分为网章。 第一章介绍了钙钛矿锰氧化物的物理性质、外延薄膜的研究进展以及电镜样品 的制备方法。首先回顾了锰氧化物的各种性质,如晶体结构、晶格畸变及电子结构, 然后介绍了外延薄膜中的应力情况,电荷有序行为,最后介绍了电镜样品的制备方 法。 第二章系统的研究Bio.4Cao.6Mn03外延薄膜的生长模式,并探讨薄膜中的应变情 况。利用脉冲激光沉积法制备不同厚度的Bio.《ao.6Mn03外延薄膜,利用透射电镜对 不同厚度薄膜的微观结构进行了研究。研究结果表明,Bio.4Cao.6Mn03外延薄膜沿岛 状模式生长,其表面形貌依赖于不同厚度薄膜中的应力状态。对于10nnl厚的薄膜, 其表面形貌像一个个孤立的小岛;对于40nm厚的薄膜,岛状结构变宽;当薄膜厚 度达到110nm时,岛状形貌消失。 第三章研究了薄膜厚度对晶格失配的影响,详细讨论了薄膜厚度对 Bio.4Cao,6Mn03/SrTi03界面的影响。研究结果表明,110nm厚的薄膜中存在垂直予 界面方向和平行于界面方向的位错。由于薄膜与衬底之间有失配,会产生垂直于界 嚣方向的袋错。平行予界面方向的位罐是由予树底表面粗糙丽造成的。 第四章利用低温样品台并结合高分辨透射电子显微学对不同厚度的 Bi9。4Cao.6Mn03外延薄膜的电荷有枣行为进行研究。随着薄膜厚度的增加, Bio.4Cao.6Mn03外延薄膜发生了由无调制结构(t100nm),到局域非公度调制结构 (t=110 nm),再到公度调制煦结构(t=200nm)的演变。 关键词:钙钛矿型锰氧化物;外延薄膜;各向异性应力;线缺陷;电荷 有序 Abstract In and of film this Bi0.4Cao.6Mn03 paper,microstructurephysicalproperties epitaxial are transmissionelectron investigatedbyhigh-resolution microscopy(HRTEM)。 羽[1ewholethesisconsistsoffour chapters. In of ofthe l,the progress chapterphysicalpropertiesperovskitemanganites,research filmsand methodofcross—sectionalTEM are epitaxial preparation specimengenerally of structure,lattice propertiesmanganitesincludingcrystal distortions, given.Thephysical the thestraininthe filmsand areintroduced.In end,we epitaxial chargeordering simply introducethe

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