ybco涂导体化学溶液沉积制备技术及超导性能研究.pdf

RESEARCHoNSUPERCoNDUCTING PREPAREDBY oFYBCoCoArTEDCoNDUCToR DEPoSITION CHEMICALSoLUTION ADissertationSubmittedto Shaanxi ofScienceand University Technology for of inPartialFulfillmentofthe the Degree Requirement of Science Doctor Engineering Thesis Supervisor：Professor．．L．．．．．u．．．．．Y．．．．a．．．f．．．e．．．n．．．．2．．．．． June，2013 YBCO涂层导体的化学溶液沉积制备技术及超导性能研究 摘要 高温超导涂层导体是基于双轴织构缓冲层模板生长的类单晶氧化物涂 层，在液氮温区具有高临界电流密度。涂层导体是由金属基带／缓冲层 和高性能的YBCO超导层，需要结合多种材料制备技术，例如轧制辅助双 轴织构技术、离子束辅助沉积技术、脉冲激光沉积、磁控溅射、金属有机气 相沉积和化学溶液沉积技术等。目前，YBCO超导层制备技术主要有两种， 其中，脉冲激光沉积是以真空技术为基础，是探索高性能涂层导体技术的重 要途径；化学溶液沉积技术以非真空技术为基础，是工业化低成本涂层导体 的主攻方向。由于化学溶液沉积制备YBCO超导层的工艺过程具有低成本、 易于控制薄膜组份以及易于实现连续制备等特点，因此采用化学溶液沉积制 备YBCO，已逐渐成为了目前研究的热点。为了获得更加优异的性能，需要 对化学溶液沉积过程中的材料成相机理进行分析，进而探索薄膜制备过程中 所涉及的传统前驱液慢速热解特性，前驱膜宏观缺陷形成，YBCO形核和生 长，a轴晶形成，以及化学溶液沉积技术引入钉扎等问题。 为了更加清楚地认识化学溶液沉积制备YBCO的分解和晶化机理，优 化工艺参数以提高超导层的性能，本论文分别采用传统全氟前驱液和低氟前 驱液制备YBCO超导层。采用红外光谱和热分析等对传统全三氟乙酸胶体 和低氟胶体中特征官能团的变化和胶体的热分解行为进行分析。采用金相显 微分析、原子力显微镜、X射线衍射、扫描电镜以及磁场中临界电流密度 薄膜的钉扎性能等随工艺参数变化，并对其相关机理进行了探讨。本论文主 要研究内容包括：传统三氟乙酸金属有机沉积(TFA．MOD)工艺优化、新 型低氟前驱液的开发、化学溶液沉积技术引入钉扎中心等方面。 1、YBCO超导层的传统三氟乙酸金属有机沉积制备工艺包括前驱溶液 配制、热解和晶化等过程。研究表明，在前驱溶液配制过程中，前驱体三氟 乙酸铜对YBCO胶体性质起主要影响作用。YBCO全氟前驱液的特殊性与 传统慢速热解过程相对应。在热解阶段，相对湿度是决定前驱膜表面裂纹产 生的主要因素，升温速率是前驱膜产生褶皱形貌的主要因素。在晶化阶段， 过高成相温度会导致YBCO膜产生退润湿现象，低氧分压可以充分抑制 YBCO膜中a轴晶的生长。因此，传统工艺的优化将主要针对以上几个参数 进行。 2、系统地研究了具有不同晶格匹配度的单晶衬底和不同形貌的缓冲层 响。结果表明，表面光滑的La2Zr207缓冲层有利于生长高织构和性能良好的 界面反应生成BaCeO，，并且金属衬底会发生氧化。通过工艺优化，采用化