纳米压痕法表征性基底上韧性膜的力学性能.pdf

摘 要 随着科学技术的发展，薄膜和涂层材料的应用越来越广泛。薄膜材料的力学 性能影响着它的使用和寿命，因而确定它的力学性能是至关重要的。纳米压入法 是测量薄膜力学性能的重要方法之一，由于它具有高的位移分辨率，超低载荷及 连续测量的优点而受到重视。本文运用量纲分析结合有限元数值模拟的方法建立 了压入过程中的加卸载响应和韧性膜/韧性基底上的力学参量之间的函数关系并 用实验进行了验证。 本文首先介绍了本课题的研究历史背景和研究现状，对测量薄膜材料力学性 能的方法进行了简单的介绍，并对压入法测量材料力学性能做了较为详细的叙 述。然后本人归纳了各向同性的韧性薄膜/韧性基底、功能梯度薄膜/韧性基底和 有过渡层的韧性薄膜/韧性基底体系三大类组合的韧性膜/韧性基底材料力学性能 的理论框架：运用量纲分析的方法得到了纳米压痕过程响应与韧性膜/韧性基底 材料体系的力学参量之间的无量纲方程。本文利用有限元数值分析的方法对各向 同性的韧性膜/韧性基底材料体系的 Berkovich 压头的压入过程进行了大量的数 值模拟和计算，得出了各向同性的韧性膜/韧性基底的力学参量和压入响应之间 的半定量函数关系。在此基础上，根据压痕实验的加卸载参数，得到了电化学沉 积在低碳钢基底上1.7、2.5 、4.0µm 厚Ni 膜的弹性模量、屈服强度和硬化指数， 结果表明Ni 膜的屈服强度比其块体材料高出许多，并且随着膜厚减少，屈服强 度增大。为对Berkovich 压头连续压入测定结果进行验证，用分离拉伸法同样获 得电化学沉积在低碳钢上1.7、2.5 、4.0 微米Ni 膜的应力应变曲线，与纳米压痕 法的结果进行了比较，两者基本相符。最后，我们利用有限元数值模拟结合前面 建立的无量纲方程建立由压入的加卸载曲线来表征韧性基底上的FGM 薄膜和有 过渡层的韧性膜应力应变关系的模型。 关键词：纳米压入法；加卸载；量纲分析；电化学沉积；有限元数值分析；功能 梯度薄膜；过渡层； I Abstract With the development of science and technology, thin films and coatings have been applied by peopled more widely and widely. Because the mechanical properties of thin films or coatings can play an important role in the failure and life and it is crucial to determine the mechanical properties. As a technique to evaluate the mechanical properties of thin films or coatings, nanoindentation test is in the popularity for its high displacement resolutions, ultra low load and the capability of continuous measurement. In the master thesis, explicit relationships between the indentation loading-unloading parameters and material properties of tough films on tough substrates have been established through dimensional and extensive finite element analysis. In the Introduction, the application of t