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自组装制备SrTi03功能陶瓷薄膜的研究 摘要 本文尝试了一种新的薄膜材料合成制备方法一自组装单层膜法。采用自 组装单层膜(Self-Assembled Phase 要起始反应物配制前驱液，以三氯十八烷基硅烷为自组装模版，采用基片竖 下，成功地在玻璃基板表面沉积制备了晶态SrTiO，薄膜。 研究。利用接触角测试仪和原子力显微镜(AFM)考察了不同紫外照射时间与 浸泡时间对基板表面润湿性和单层膜形貌的影响。结果表明，空白基板在紫 的最佳时间均为30min。有机单层膜物质在基板表面的形貌与玻璃表面相 似，平整光滑，均匀平坦；紫外光修饰后粗糙度明显增加，呈现规律的锯齿 条纹状。 OTS．SAM处理后的基片具有极强的亲水性，使得薄膜前驱液能够在基 板表面充分地润湿，有利于陶瓷先驱粒子在基板表面吸附与生长。采用Zeta 电位对薄膜前驱液稳定性进行考察，测试发现，在前驱液pH值为3．5左右 时，溶液Zeta电位为0，此时体系适合薄膜颗粒的成核与生长，此结论在 pH值工艺讨论中得到证实。 测试对SrTi03薄膜的结构、相组成、表面形貌及化学组成进行了考察，研 导作用，能促进前驱体溶液在基底表面异相成核和沉积。制备成功的薄膜化 学成份稳定，纯度较高，结晶良好，结构致密均一，在基板表面呈纤维簇状 生长。自组装单层膜技术制备微观图案化薄膜取得了圆满成功，研究发现， 基板的亲水表面和憎水表面都可以发生SrTi03薄膜前驱物成核，但憎水区 的薄膜与基板结合不牢固，在超声波振动后容易脱落。 本课题同时探讨了自组装单层膜技术在制备BaTi03薄膜及其sr掺杂中 表面呈纳米线状生长，线长大约在500nm～19m之间，相互连接的晶粒大小 大约在100nm左右。EDS能谱测试使自组装单层膜技术在薄膜掺杂制备中 的应用可行性得到证实。 关键词：SrTiO，薄膜，自组装单分子膜，液相沉积，形成机理 Ⅱ STUDYANDSYNTHESIS0F TIⅡNWELMBY SELF．ASSET恤LED TECⅡN1QUE ABSTRACT Anewmaterial synthesismethod(self-assembledmonolayerstechnique) wastriedinthis for of thin the paper nanocrystalline preparation films．Byusing combinationofSelf-Assembled andthe process Phase as thinfilmwas Liquid Deposition(LPD)method，OTSstencil，SrTi03 on waferswithfollow solution successfullyprepared glass technics：precursor wasconfected and withconcentrationof bySr0N103)2，(NH4)2TiF6H3803 with uprightlaying at a