实时二维微小角传感器的研究.pdf

摘要 在现代企业的质量保证体系中，在线检测设备具有重要的地位。随着精密 加工和超高速加工的发展，对在线测试的精度和速度都提出了新的要求，高精 度高速度小角度测量方法的研究成为此领域研究的一项重要内容。传统的小角 度测量仪器如激光干涉仪，光电自准直仪等，由于具有体积大、系统复杂、造 价昂贵、对测量环境要求高、较难组成多维测角系统等特点而很难用于工业高 精度在线测量。 为了解决上述问题本课题基于光学内反射效应，设计并试制了一种新型二 维微小角度传感器，可实现实时二维角度的测量，为下一步研制出多自由度位 移检测系统奠定基础。本系统采用基于C6711DSK的检测电路进行高速数据采 集处理，使系统的测量精度和响应速度满足了当前在线检测的需求。以下是本 论文的主要研究内容： 论述了本文研究的目的和意义，查阅了大量的有关技术资料，综合 评述了角度测量技术的国内外现状和发展趋势。 (2) 从理论上分析了基于光学内反射效应测角法的原理。 (3) 基于理论分析，完成了传感器的机械结构设计，并试制了样机。 (4) 设计制作了基于C6711DSK的高速数据采集处理电路，对其技术性 能、工作方法进行了实验研究