《圆光栅角度传感器的误差补偿及参数辨识 Error compensation and parameter identification of circular grating angle sensors》.pdfVIP

第18卷第8期 光学精密工程 V01．18No．8 andPrecision 2010年8月 Optics Engineering Aug．2010 文章编号1004—924X(2010)08—1766—07 圆光栅角度传感器的误差补偿及参数辨识 高贯斌，王 文，林 铿，陈 子辰 (浙江大学现代制造工程研究所，浙江杭州310027) 摘要：基于正弦函数和粒子群算法提出了一种误差补偿及参数辨识方法，用于提高圆光栅角度传感器的测量精度。使用 光电自准育仪和金属多面体对圆光栅角度传感器的测量误差进行了离散标定，通过对标定数据的频谱分析，发现传感器 测量误差主要由儿种不同频率的正弦函数信号组成，由此提出了一种基于正弦函数的圆光栅角度传感器误差补偿模型。 补偿模型中包含7个待定常量，本文采用粒子群算法求解这7个待定常量以克服最小二乘法无法收敛的问题。以待定 常量为粒子位置坐标，以平均误差为适值函数，建澎了一种基于粒子群算法的参数辨识模型，并根据参数辨识模型求出 最优的待定常量。应用补偿模型对关节臂式坐标测量机的6个圆光栅角度传感器测量误差进行了补偿，结果表明：补偿 后各角度传感器的平均测量误差减小了约398～l102．5倍，大大地提高r传感器的测量精度。 关键词：圆光栅角度传感器；测量误差；频谱分析；补偿模型；粒子群算法 中图分类号：TP212．12；TH712文献标识码：A doi：10．3788／OPE1766 Error and identificationof compensationparameter circular sensors gratingangle GAoGuan—bin，WANGWen，LIN Zi—chen Keng，CHEN (InstituteAdvanced 310027，China) of ManufacturingEngineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou error and identificationmethodbasedonsinefunctionand Abstract：Ancompensationparameter parti— cleswarm was to themeasurementofcircular optimizationpresentedimprove accuracy gratingangle were sensors．Themeasurementerrorsofthesensorscalibrated a autocolli— discretelyby photoelectric matorandametal thecalibrationdatawiththeFastFourierTransform polyhedron．Byanalyzing (FFT)，itwasfoundthatthemeasurementerrorsofthesensorsare ofthesinusoidal composedmainly withd