《反应溅射HfCSi3N4纳米多层膜的微结构与力学性能 Growth and Characterization of Super-Hard HfCSi3N4 Multilayers》.pdfVIP

真空科学与技术学报 第3l卷第5期 574 SCIENCEAND CHINESE OFVACUUM TECHNOLOGY 2011年9、10月 JOURNAL 张晶晶1许辉1祝新发1李冠群2李戈扬2。 1．上海工具厂有限公司机械工业工具涂层技术重点实验室上海200093； 2．上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室上海200240 GrowthandCharacterizationofSuper·HardHfC／Si3N4Multilayers Huil，ZhuXinfal，u ZhangJingjingt，Xu GuaIl耐，uGe ，哥’ Tool ToolWorks 200093，China； 1．MachnieryIndustry研蹦ofCoat抽gTechnology，ShanghaiCo．￡勿．，Shanghai Matrix Uni,础y，Shangha／200240，Ch／na 2．State研labofMadComl∞sites，s^喇Jiaotong AbstractThe wele reactive super-hardHfC／Si3N4llano—muhilayersdepositedbymulti—targetmagnetronsputtering． The ofthe conditions011itsmechanical We／@studied．Themierostructuresand were impactsgrowth properties properties and me— characterizedwith electron conventional microscopy X-mydiffraction，X—rayphotoelectronspectroscopy，scanning ofthe affectsthe chanical resultsshowthatthethickness Si3N4hyersignificantlymicmstructures， probes．The amorphous hardnessandelasticmodulusofthe athicknesslessthan1．0 andthe llln，the multi—layers．Forexample，at epitaxial ofthe filmoccursbecauseofthe influenceofthecubic ina increaseofthehard· growth Si3N4 strong HfC，resultingrapid atllor- nes$andelasticmodulusto38．16GPaand343GPaatathicknessof0．6 foundthatthe up nlll，respectively．We withathickness 1 themechanical ofthe toa nln，deteriorates varying phousSi3N4layer，usually propertiesmuhilayer degree． Keywords growth，Mechanicalproperties HtU／Si3N4，Nanomuhilayers，Epitaxial 扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构、硬度与弹性模量，研究了si3N4层厚度变化对纳米多层膜微结构与力 学性能的影响。结果表明，溅射的％心粒子不与Q心气体反应，因NaCl结构HfC晶体调制层的模板效应，溅射态为非晶的 si3N4层在厚度小于约1ms时被强制晶化，并与HfC晶体层形成共格外延生长结构，多层膜呈现强烈的 111 择优取向柱状晶， GPa和343 其硬度和弹性模量显著上升，最高值分别达到38．2 GPa。进一步增加si3N4层的厚度后，％N4层转变为以非晶态生 长，多层膜的共格外延生长结构受到破坏，其硬度和模量也相应降低。 关键词HfC／Si，N4纳米多层膜外延生长超硬效应 中图分类号：0484．4 文献标识码：A dol：10．3969／j．ism．1672—7126．2011．05．13 计与控制而获得高硬度的强化机制具有重要的理论 自1970年KoehlerflJ提出了纳米多层膜具有硬 度和模量异常升高的超硬效应的理论预测后， 研究价值。这类材料通过材料组合所获得的性能可 Helmersson等[2]于1987年在TiN／VN纳米多层膜中剪裁性也为开发具有优异综合性能的硬质材料提供 J。 获得了高达50GPa的硬度，使得陶瓷纳米多层膜的 了新的途径和广阔空间L3 超硬效应已成为硬质薄膜研究的重要热点。与金刚