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第26卷第1期固体电子学研究与进展 V。1．26，No．1 2006年2月 OFSSE Feb．．2006 RESEARCH＆PROGRESS 5．2～5．8 GHz有源巴仑MMIC 王维波张斌 (南京电子器件研究所，南京，2l0016) 2005一08一05收稿，2005一09—12收改稿摘要：采用o。5 GaAs pm pHEMT工艺研制的5。2～5．8GHz有源单片式巴仑芯片，最终测试表明：工作带宽之 GHz)，相位内，芯片输入输出驻波均小于1．5，两输出端幅度之差最大为o．8dB(@5．8GHz)，最小为o．08dB(@5．6 之差为174．3。(@5．2GHz)到180．6。(@5．8GHz)，与理想差分比较，带内误差小于6。．双端输出时具有明显的功率 dBc。增益，约在1．7～4．95dB之间，P1dB输出功率为10．5dBm左右，二次谐波失真比日D：典型值为一30 关键词：微波单片集成电路；有源巴仑；转换增益；相位误差；幅度失配中圈分类号：TN432文献标识码：A 文章编号：1000一3819(2006)01一029一05 GHzActiveBalunMMIC 5．2～5．8 Bin WANGWeiboZHANG E如cfr0挖如sD鲫ice (N口可i雄g h5fi￡“据，Ⅳ盘巧i咒g，210016，C日Ⅳ) 5．2～5．8GHzactivebalunMMICis O．5 GaAs Abstract：A by pmgate designedusing pHEMT Thefinalresultsshowthat and VSWRarebothbelow1．5． technology． input output Themaximum is theminimal mismatch0．8dB(@5．8GHz)，while output outputamplitude mismatchis differenceofthetwobalanced 0．08 GHz)．Andthe ports amplitude dB(@5．6 phase from totheidealmode，thein— 174．3。(@5．2GHz