非接触式光学自由曲面原位测量方法地研究.pdfVIP

摘 要 光学自由曲面元件的出现给光学技术的发展注入了新的活力，其不但简化了 光学系统的结构，也使得成像质量得到了很好的改善，因此得到了广泛的应用。 但随着光学自由曲面面形越来越复杂，要求的精度越来越高，它的生产一直是加 工领域的一个难题，尤其是开发出适合的测量方案，来检测自由曲面元件加工的 形貌误差更是难上加难。现有的测量手段多采用接触式探针做离线检测，虽然这 种测量已经具有很高的精度，但由于测量后需二次装卡工件进行补偿加工，并且 接触式对工件具有一定划伤性，这些都会为加工带来新的误差，所以不利于光学 自由曲面的生产。本文开发了一种基于超精密车床为平台的非接触式原位测量方 法。基于聚焦式激光测量方法设计开发了非接触式测头系统。主要的研究工作如 下： 1. 利用聚焦误差信号检测原理，开发了聚焦式激光测头，通过设计有效的 信号调理系统，保证了测量信号高精度的输出，同时，测头光路中复合 了成像系统，辅助测头快速准确对正主轴中心； 2. 基于超精密车床平台，对整体原位测量方案进行了系统设计，分析了测 头加工路径设计方法，并通过软件开发实现坐标位置和误差数据的同步 采集，从而系统实现了对曲面面形和面形误差数据的高效测量； 3. 对于光学测头不能测量大曲率工件的缺点，采用了借助光学测头高精密 旋转，实现了大曲率回转工件的法矢方向测量，从而消除曲率对测量的 影响。 通过实验验证，开发的聚焦式激光测头测量分辨力达 20nm ，不确定度在 10nm 以下，可对平面和大曲率回转曲面进行稳定可靠的测量，并实现了曲率变 化小于10°双正弦自由曲面的原位测量。 关键词： 光学自由曲面，超精密加工，非接触，原位测量，聚焦式 ABSTRACT The appearance of optical free-form surface has injected new vitality to the development of optical technology, which not only simplifies the structure of the optical system, but also makes the imaging quality improved, so it is widely applied. However, with the requirements of more complex and higher accuracy of optical free-form surface, its production has been a problem in the manufacturing areas, especially developing a suitable measurement system to detect the error of free-form surface is even harder. Most of the present measurement methods are the off-line measurements with touch probe, although such measurements have got high precision, they need retighten the workpiece for the compensation machining and may hurt the workpiece after measurement, which can bring new error, so these methods are not conducive to the production of optical free-form surface. An non-contact in-situ measurement system based on the ultra-precision machine is proposed in this paper and design a non