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ITO靶材的断口分析 曾纪术，陈锦全，杨眉，吴伯增 （广西华锡集团股份有限公司，广西柳州 545006） 摘要：对国产与日本两种ITO靶材进行全面的分析对比对ITO靶材的断口形貌与靶材黑化结瘤之间的关系进行了探讨。结果表明国产靶材与日本靶材的相对密度、电阻率、失氧率等参数比较接近二者均为单一晶相的固溶体国产靶材的断面为解理+韧窝的脆韧混合断裂断裂面晶界上出现了粒径较大的无规则颗粒物而日本靶材断面为解理脆性断裂断裂面晶界清晰，无颗粒物出现。 关键词：ITO靶材；断口；混合酸；结瘤Fracture Morphology Analysis of ITO Target ZENG Ji-shu, CHEN Jin-quan, YANG Mei, WU Bo-zeng (Guangxi China-Tin Group Corporation Limited, Liuzhou 545006, Guangxi, China) Abstract：Two ITO target samples provided and Japan were thoroughly analyzed and compared. The relationship between fracture morphology and mechanism of nodule formation of ITO target were discussed. The results show that majority parameters of both materials are analogous, such as relative density, electrical resistivity and oxygen deficiency. The two samples are in form of single phase crystal solid solution. The domestic material is a mixture of quasicleavage and dimple with large sized irregular particles in grain boundary. The Japan target is of cleavage fracture with clear grain boundary and invisible particle in grain boundary. Key words: ITO target; fracture; mixed acid; nodule formation 以ITO靶材为原料，采用磁控溅射的方法ITO薄膜具有良好的电子导电性、可见光透光率和红外线反射功能，可应用于液晶显示、光电子器件和太阳能电池板的透明电极电子器件静电释放层、冰柜玻璃等红外和热反射层、汽车飞机用去雾防霜玻璃等诸多领域，是现代光电显示领域重要的功能材料[1-5]。当前平板显示器和宽屏液晶显示器呈快速增长的势头，因此，对ITO靶材的需求也是逐年增长。目前，高端ITO靶材市场主要日本、韩国厂商所把持，国内生产的靶材多年来只能在低端产品市场游弋。究其原因，其一国内尚无生产大尺寸靶材的能力，其二靶材在镀膜过程中黑化结瘤的问题未能根本解决[67]。解决大尺寸问题，有待于成型工艺和烧结工艺水平的提高；靶材使用过程中黑化结瘤的问题则是靶材品质的核心问题。对于ITO靶材的结瘤问题，国内外学者采用多种技术手段进行了研究，但是仍然存在许多争议[8-10]。比较一致的看法是，靶材的密度对结瘤有很大影响，当靶材相对密度达到99%尤其是99.5%以后，继续提高靶材密度，对于减少靶材的结瘤问题作用甚微。因此，尽管国内部分厂商生产的ITO靶材已达到超高密度水平（99.5%），但是仍然不能较好解决靶材镀膜过程中的黑化结瘤问题。深入研究材料的微观组织结构全面揭示ITO靶材结瘤机制，对提高靶材品质至关重要。 材料的断口能够提供关于材料比较全面、立体的信息，断口分析学已经广泛应用于材料失效分析和材料品质分析等领域[11]。运用断口学对ITO靶材进行分析鲜有文献报道。本文从TO靶材的断口形貌分析入手，试图从一个角度揭示材料的微观组织结构与结瘤之间的关系，为ITO靶材的生产提供有实际意义的指导。 1 试验取国产ITO靶材（标识为A）及日本靶材（标识为B）各一块，两种靶材均采用无压烧结工艺制备，两种靶材的纯度采用ICP-OES分析后发现纯度均在99.99%以上，纯度无显著差异，其它分析结果如表1所示。收稿日期：2014-04-16 基金项目：“十一五”国家科技支撑计划项目（2007BAE24B01） 作者简介：曾纪术（1974-），男，湖南洞口人，博士，高级工程师.表1