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振动因素对SPM测量结果影响的研究STM7
2002-11-23 振动因素影响SPM测量结果 振动因素对SPM测量结果影响的研究 天津大学 光电测控技术研究所（IOEMCT） 精密测试技术及仪器国家重点实验室 纳米测试技术实验室 陈津平 2002年11月23日 振动在SPM测量机理中的角色 DI MultiMode SPM 4094JV Z： 0.09nm X、Y: 1.9nm 4042E Z： 0.05nm X、Y: 0.3nm SPM工作环境中的振动因素 低频（100Hz） 说话与走动 地板与建筑物的共振 电传输线（一般60Hz） 房门的开关 高频（100Hz） 机械泵动装置 制冷系统 机加工工具在周围工作 低频隔振 沙箱 橡胶垫 金属盘簧悬挂系统 超导悬浮系统 涡流阻尼系统 光学平台 高频隔振 隔音腔 弹性元件 早期SPM隔振研究 20世纪80年代中后期到90年代中后期 G. Binnig “Scanning tunneling microscopy” P. J. Silverman “Scanning tunneling microscope instrumentation” D. W Pohl “Some design criteria in scanning tunneling microscopy” C. F. Quate “Theories of the feedback and vibration isolation systems for the scanning tunneling microscope” SPM的一般结构 近期SPM隔振研究 S. Devasia “Vibration compensation for high speed scanning tunneling microscopy” W. Arnold “Vibration of free and surface-couple atomic force microscope cantilevers: Theory and experiment” P. K. Hansma “Assessing the quality of scanning probe microscope designs” A Stemmer “Eliminating mechanical perturbations in scanning probe microscopy” A. Stemmer的一种离线补偿方法 本文工作 Contact Mode AFM的z向振动 激振、测振位置均在MultiMode SPM的基座上 激振：Tektronix公司AWG2021驱动PC扬声器 测振：SIOS公司微型激光干涉测振仪SP-S 激振频率：0-7kHz 激振振幅：0-1500nm 扫描对象：Si样品，1um x 1um x 10nm 图像类型：Height 扫描频率：1.97Hz 0–7kHz，SPM基座的激振结果 0–500Hz，SPM基座的激振结果 0–50Hz激振结果 SPM基座、测头、扫描器外壳、样品台 推 论 SPM基座、测头、扫描器外壳、样品台可看作一体 固有频率5Hz、15Hz、30Hz、43Hz、100Hz、180Hz 800Hz以上振动响应很小（ 10nm） 600Hz-1kHz, Height 1kHz-1.4kHz, Height 1.4kHz-1.8kHz, Height 1.8kHz-2.2kHz, Height 0k-4k-3k-2k-1k Hz, Height 0k-7k-6k-5k-4k Hz, Height Si样品未受激振的情况 200-300-400-500-600 Hz, Height 160-180-200-220-240 Hz, Height 120-130-140-150-160 Hz, Height 80-90-100-110-120 Hz, Height 40-50-60-70-80 Hz, Height 0-10-20-30-40 Hz, Height 19-17-15-13-11 Hz, Height 2-3-4-5-6 Hz, Height 0–7kHz，Tip-Sample间距变动量 推 论 2kHz以上，受激振得到的Tip-Sample 间距变动量小于 0.3nm，被Si样品表面形貌淹没 在17Hz、60Hz、110Hz、180Hz、1kHz振动响应强烈 Tip-Sample 间距变动量与SPM机体受激振动不同，应当缘于扫描频率与激振频率的匹配 下一步的工作 Tip-Sample Interaction的理论分析 扫描频率与激振频率的匹配实验 SPM测头内PSD的Deflection信号分析 建立S
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