激光辐照下镀铬介质高吸收镜的热变形.pdfVIP

第 8卷 第 1期 中国光学 Vo1．8 No．1 2015年2月 ChineseOptics Feb．2015 文章编号 2095—1531(2015)01-0084-07 激光辐照下镀铬介质高吸收镜的热变形 聂山钧 ，郭 劲 ，邵俊峰 ，王挺峰 ，汤 伟 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 激光与物质相互作用国家重点实验室，吉林 长春 130033； 2．中国科学院大学，北京100049) 摘要：为了分析激光辐照下反射镜热变形对光束质量的影响，本文建立了激光光束45。角入射时镀铬介质高吸收镜的热 固耦合模型，对不同辐照光束下反射镜的热变形和镜体厚度对热变形的影响进行了分析，并用哈特曼波前传感器对 自由 边界条件下的镜面热变形进行了检测。结果表明：吸收功率在0．085～0．185w 时，镜面热变形随吸收功率的增加近似 线性增加，随辐照光斑的增加而减小；反射镜厚度在 1～5mm范围，镜面热变形基本不变。在激光照射的初始阶段，反射 镜表面温度和热变形迅速增加，在激光连续照射20S后，镜面温度增加量逐步变缓，镜面热变形则在 1S以内就上升至 0．27Ixm，之后变形量缓慢增加，在 100s后达到相对稳定状态 ；关闭激光后，镜面在 120s后恢复到初始状态。分析表 明，产生误差的因素主要为光斑大小和辐照光束入射角度。 关 键 词 ：热固耦合 ；热变形 ；哈特曼传感器 中图分类号：TN249 文献标识码：A doi：10．3788／C00084 Thermaldeformation ofhigh absorption chromeplatedmirrorirradiatedbylaser NIEShan-jun ，GUOJin ，SHAOJun．feng，WANGTing．feng’，TANGWei (1．StateKeyLaboratoryofLaserInteractionwithMatter，ChangchunInstituteofOptics， FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Correspondingauthor．E—mail：guofin@ciomp．ac．cn Abstract：Inordertoanalyzetheeffectofthermaldeformationofthemirrorirradiatedbylaserbeam onthe beam quality，thermal-staticstructuralcoupledmodelofhighabsorptionchromeplatednirForirradiatedbyla— serbeam withtheincidenceangleof45。iSbuilt．Thermaldeformationunderdifferentirradiationlaserandthe influenceofmirrorthicknessonthedeformationareanalyzed．Thenthermaldefomr ationiSdetectedwithHart． mannwavefrontsensoronfreeboundarycondition．Theresultsshowthatthermaldeformationincreasesapprox— imatelylinearlywiththeinereaseofthepowerabsorbedattherangeof0．085—0．185W ．Whenthediameter ofthefaculaincreases，thedefomr