激光在光学玻璃抛光中的应用.pdfVIP

维普资讯 光机电f匏 特集 ：激光如I技术 Vo1．i，．No 2．2000 ● f几／2 1]() 十丫 一特一 激光在光学玻璃抛光中的应用 良 I} 1} 的徽观表面变形 。 引言 本文详细介绍 了用大功率 co。激光器 ， I ．I ． 一集一 (一lO6 m)抛光大面积光学玻璃表面的 和j用熔化或软化薄表面层 以及此后硬化 研究成果。在波长大于 5 m红外波段 ，玻璃 的方法进行材料处理多年来一直是科学家们 有很高的吸收系数 ，测量值在 10m 范围 感兴趣的研究课题 。这种方法能够增强或改 内。此外 ，在 10．6pm波段 ，玻璃的反射率约 变材料表面性质，尤其是用于粗糙表面抛光 。 为 2O ，因此对于反射 CO：激光器辐照的总 能抛光或者说能减少表面粗糙度是因为在熔 能量效率来说，玻璃 比金属高得多。于是 ，当 化或软化的表面上存在有驱动物质流动的表 把 CO 激光器发 出的波长为 10．6 m辐射 面张力。这个表面薄层的厚度至少必须等于 束照射在玻璃表面时，大量的能量被一薄表 初始表面粗糙度峰至谷的高度 。此外 ，只有当 面层吸收，并使激光处理局限于玻璃的表面。 表层熔化或软化保持足够长时间时披抛光表 因为试样的大部分保持不受影响 ，所 以有可 层的流动才能发生 。 能在不改变给定曲率参数情况下进行抛光。 按照工业的观点 ，玻璃的激光抛光是非 作者在初期工作中研 究了在 500mm范 常有意义的，固为它能提高标准件的生产效 围内给定曲率参数和表面均方根 (rms)粗糙 率 ．并允许抛光过程 自动化 。此外 ，它不需要 度情况下研磨过的眼透镜的激光抛光过程 。 机械磨料，也无需配合表面的抛光工具 。这种 用cO：激光柬辐照透镜表面，光斑面积为80 技术对非球面和非 回转光学表面的抛光是非 m m 。，用振动多平面反射镜对 TEMo。激光束 常适合的，因为用传统技术去抛光这些表面 进行扩柬和整形，使辐照面积上横向能量分 是很困难的，有时甚至是不可能的。 布均匀化。为了避免激光辐照产生过大的热 激光表面处理通常要求对试样表面辐射 应力，在辐照前把所有要抛光的透镜预热到 大量的激光能量 。并要求控制和改善试样表 比转变点温度略高的温度上。激光处理后经 面上的强度分布 。这些要求扩大了非穗腔激 激光照射过的透镜表面被抛光 ，抛光后的表 光光源的应用，因为这些光源能提供大功率 面rlTi8粗糙度近似为 1nm，同时初始表面的 的具有高空问相干性的近似纯横向单模激光 形状没有改变 。这些好的结果使激光抛光较 束。而另一方面，金属波导和多平面激光束汇 大面积的光学表面成为可能。 集反射镜被广泛地用于高能激光应用中，用 本文的 目的是将上述综合的抛光方法加 来得到平顶 曲线的强度分布。然而，相干光束 以扩大应用，重点是抛光光学玻璃表面，把抛 的汇集