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溶胶-凝胶法制Baamp;lt;,xamp;gt;Sramp;lt;,1-xamp;gt;TiOamp;lt;,3amp;gt;薄膜及其性能研究.pdf
摘要
小义刈采川溶胶一；疑胶认(Sol—gel}／、)制鬲的I弧、srh
JJ其flj；l：型j进{J。J’?(，U
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f，』，形f：究，Jf：型?访e刈实验}，’i爿：做ff；珩平释。
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制得薄膜质最何较人影响。
时结晶较好，而在700。C以卜，I；sT池J】萸楚小处J二。=|}=f1^念。利』IJXRD图
所做的贞献。一)
变化的火系；BST薄膜的介f
Ll。陀能随厚度变化的火系：以及Ba04sr0
6Ti03／
Bao6Sro 7F46／BS
4Ti03(BS7r64)多e：Jj链‘0
Ba(1
5Sro
能的差别。
j¨J，棚成的解释和进‘步研究的力向。
关键词：Sol—gel法：BST薄膜?介IU，铁IU
Abstract -
fihnshavebeen on
BaxSi‘I，、，Ii()j(BSI、)thin
Tetragonal prepared
substl’ates and
二Pt／Ti／Si02／Si bysol—gelprocessing．Dielecticproperty
ferroelectricofthet]llnsare tothe
property investigated．’Frial
explanation
resultsisgiven
Detailsofthe al’e inthis which
expel’imentspresented article．In
oftheambientandthe arefoundto
temperature，humidity stabilizing
agent
rolesin BSTthinfihns
playimportantgettinghighquality
treatmentsof
Post thefihnsshowed
thatBSTthinfilms
get
atal’ound700。C～800。C．When
crystallization annealing
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