工业洁净室的微环境气流组织模拟.pdfVIP

摘 要 随着人们生活水平的不断提高，洁净技术广泛应用于医疗、微生物、微电子技 术等对环境要求相当高的行业。半导体技术也对洁净技术提出更高要求，传统的洁 净室已不能满足当今洁净环境的要求，洁净室特别是高级别的其初投资大，运行管 理费用高，因此，微环境技术便应运而生——SMIF （标准机器接口）隔离技术。本 论文介绍了该项技术的国内外研究情况，显示了SMIF 技术将成为21 世纪高级别洁 净技术的主流。 洁净室的洁净度与气流组织相互紧密联系着。为了使微环境内的洁净度达到 1 级的洁净级别，环境内的涡流区域必须尽量减少或者消除；因此，在流场内的速度 梯度与压力梯度应尽可能控制在小的范围。一直以来，国内洁净室对于气流组织的 设计确定主要以工程经验为主；利用 CFD 模拟技术，我们可以预测气流流场中的 存在问题，及早提出改善工程方案，指导工程实际应用。 本文采用常用的 CFD 软件，采取紊流k −ε 二方程模型，应用 SIMPLE 方法。 在软件中建立模型，修改边界条件，进行数据处理，对 SMIF 隔离洁净室的流动特 性进行分析和研究。 本文实现了对 SMIF 微环境内的静态气流组织数值模拟，分别对不同的开口边 界进行数值模拟，从模拟的结果得知：微环境内外的压力差与开口大小有着紧密的 联系；开口越大，压力差越小，使得压差达不到规范要求；开口太小，虽可增大微 环境内外压差，但会进一步促使压力与速度梯度增大，影响微环境内的气流流场的 均匀性；进口处的速度值对微环境内的气流组织影响也是一个重要的因素。 关键词：工业洁净室 SMIF 气流组织 CFD 数值模拟 I Abstract With the development of people life ，clean room technology is being more and more used in those field that must to be very high demands for manufacture settings such as health ，microorganism ，microelectronics ，etc. As the semiconductor process technologies advance ，the conventional clean rooms no longer meet the critical demand on air quality. The beginning investment of clean room especially high cleanliness class room is very big ，operating administrative expense is very high ，thereby giving rise to the design concepts of mini-environment —— SMIF(standard mechanical interface). This paper presents the introducing the result of national and abroad research to show that the SMIF technology will become as a main stream in the high class air clean area. The cleanliness degree of clean room obtaining has close relation with air flow organization. In order to meet the requirement of cleanliness Class