空间相移技术的研究.pdfVIP

摘 要 光学干涉以其非接触，全场测量，精度和灵敏度高等特点在生产和研究领域 得到了广泛应用。大多情况下光学位相与被测物理量直接相关，而位相则载波于 干涉条纹中。从干涉条纹中精确获取位相信息成为研究人员追求的目标，迄今已 有一系列的技术产生，空间相移就是其中之一。 空间相移抗干扰性和实时性强，因此得到迅速发展。本文首先对相移和空间 相移的发展做了简单回顾和总结，在此基础上对空间相移技术的某些方面进行了 详细的研究和改进，具体如下： 探索相移发展的历史，归纳出实现相移的各种方法；研究各个时期典型的空 间相移系统，总结出空间相移技术的关键环节：空间分光和移相。分光棱镜和衍 射光栅均能起到不错的空间分光效果，偏振干涉是空间移相常用的方法。 空间相移系统发展的趋势是由多CCD成像到单CCD成像，单一波长测量到多 波长测量。单CCD成像系统结构简单紧凑且费用底，因此本文设计了基于偏振干 涉和光栅分光的单CCD成像空间相移系统。针对该系统进行了理论分析，并对该 系统中的空间分光和相移器件进行了设计，提供了具体的加工参数。对系统光路 进行了标定，包括偏振片组方位角的标定和光栅衍射斑的强度分布标定。 对本文系统进行了误差分析，并探索了应用软件抑制误差的方法。研究发现， 不同的光栅组合也能起到不同的分光功能，在此基础上提出了本文系统的改进之 处。 论文在上述理论工作的基础上，搭建实验平台，进行了实验工作。测量了偏 振片组的方位角装配精度：进行光栅分光实验和光栅衍射性能测量；对基于偏振 干涉和光栅分光的空间相移系统进行了实验验证。 针对论文需要，编制了计算机程序。包括gong．Kim、傅立叶相移值标定等 算法的程序和系统标定、数据处理等方面的应用程序。 最后，对全文工作进行了总结，提出了有待改进和深入之处。 关键词：相移，空间相移，光栅，偏振干涉 ABSTRACT the of field Opticalinterferomtry,withabilitynoncontact，wholemeasurement， and hasawide inindustrial and highsensitivityhighaccuracg application production research．Incasesthemeasured havedirectrelationswiththe many parameters optical the iscarriedinterference distribution，howeveroptical—phase by fringes． phase the frominterference isthe of opticalphase fringesaccuratelygoalmany Acquiring researchers．Alotof measurementmethodshave existedand phase already Spatial oneofthem． Phase—shiftingMethod(SPM)is Methodhas fromenvironmentandcanbe SpatialPhase—shifting strongimmunity usedinreal—time ithasbeen ofa11areviewabout testing．SO developedrapidly．First and