激光修补技术在修复薄膜图形缺陷上的应用——薄膜图形缺陷激光修补机.pdfVIP

团 蚕 蚕 遣茎 鱼 激光修补技术在修复薄膜 图形缺陷上的应用 薄膜图形缺陷激光修补机 万承华，宋体涵 (深圳清溢光 电股份有限公司，广东 深圳 518000) 摘 要：阐述 了应用激光修补技术在玻璃基板上去除金属及其化合物薄膜和在玻璃基板上沉积 金属薄膜的图形缺陷修补原理与方法；简述 了影响薄膜 图形缺陷修补质量与效率的关键技术：简 单介绍 了薄膜 图形缺 陷激光修补机的系统构成及其技术与性能指标。 关键词 ：激光化学气相沉积(LCVD)；金属薄膜 ；快速成膜 ；激光快速去除(ZAP)；设备参数 中图分类号：TN305 文献标识码 ：B 文章编号：1004，4507(2015)06．0025．06 TheApplication ofLaserRepairTechnologyinFixing DefectsoftheThin Film Pattern — — Therepairingm achineforthedefectsofthethin film pattern WAN Chenghua，SONG Tihan (QingyiPrecisionMaskmaking(shenzhen)Ltd．，Shenzhen51800，China) Abstract：ThispaperexpoundstheprinciplesandapplicationofLaserinducedablation (ZAP)and LaseractivatedCVD technologyinremovingandrepairing pattem defectsofthemetalthinfilm and itscompounddepositedonaglasssubstrate．Itoutlinesthekeytechnologythataffectsthequalityand efficiencyofthefilm patterndefectsunderrepair．A briefintroduction to the laserrepairsystem constructionandthetechnicalandperformancecharacteristicsoftherepairedfilm pattems ． Keywords：Laserchemicalvapordeposition (LCVD)；Metalfilmslaserablation；Rapidfilm formation；Laserrapidfilm remova1(ZAP1；Equipmentparameters 薄膜 图形缺陷激光修 (ZAP)／补 (CVD)技术 尤其是在其前端的掩模版和面板的生产过程中， 广泛应用于平板显示 (FPD)和半导体 (IC)行业 ， 产品会产生细微线路短路或者断路的情况，我们 收稿 日期 ：2015．04．03 鼍 电 子 工 业 董 用 设 苗 材料制造工艺与设备 3 系统构成及其技术与性能指标 路位置 。 3．2．2SLIT照 明 系统 薄膜 图形缺陷激光修补机主要 由大尺寸高精 SLIT照明光源使用 LED灯箱，经传光束传 度 、Y平台及其传递系统、光学系