硬质合金高温化学气相沉积TiC涂层工艺研究.pdfVIP

第34卷第 4期 西华大学学报(自然科学版) 2015年7月 Vo1．34，No．4 JournalofXihuaUniversity(NaturalScience) Ju1．2Ol5 · 先进材料及能源 · 硬质合金高温化学气相沉积 TiC涂层工艺研究 张丽珍 ，赵广彬 ，罗 磊 ，安小建 ，陈枯雄 (西华大学材料科学与工程学院 ，四川 成都 610039) 摘 要：采用高温化学气相沉积在YG8基体上制备TiC涂层 ，研究沉积温度、沉积时间、H2流量、H：／CH (流量 比)以及TiC1流量对镀层的抗弯曲强度、膜基结合力及表面显微硬度的影响，并通过正交试验优化工艺参数。结 果表明：当沉积温度为 l000℃，沉积时间为 90min，H2流量为400ml，H2／CH (流量 比)为 15：1，TiC1流量为80mL 时，镀层具有优 良的性能，抗弯曲强度达到 1100N，表面显微硬度达到3228HV，膜基结合力达到90N。 关键词：碳化钛；化学气相沉积；硬质合金 中图分类号：TG722 文献标志码：A 文章编号：1673—159X(2015)04—0097—05 doi：10．3969／j．issn．1673—159X．2015．04．020 Research ofTiC CoatingsonCementedCarbidebyHT——CVD ZHANGLi—zhen，ZHAOGuang—bin ，LUOLei，ANXiao—jian，CHENZhi—xiong (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，XihuaUniversity，Chengdu610039China) Abstract：TiCcompositecoatingwerepreparedontheYG8substratewithhightemperaturechemicalvapordeposition (HT— CVD)method．Effectsoftemperatureandtime，andtheflowofH2，H2／CH4and Tic14onthebendingstrength，strengthandmicro— hardnessoffilm ，andonthebondingstrengthofthinfilm —matrixwereinvestigated．Thedepositingparameterswereoptimizedthrough orthogonaltest．Theresultsindicatethatfinecompositecoatingcanbethese：depositedatIO00~C for90rain，andwiththeflow ofH2 is400ml，theH2／CH4is15：1，theflow ofTiC14is80ml，itsbendingstrengthis1100N，itsmicrohardnessis3228HV，thebonding strengthofthinfilm —matrixis90N． Keywords：titanium carbide；chemicalvapordeposition；cementedcarbide 随着涂层技术的发展，各种超硬涂层材料层 出 纯度及致密度 。采用化学气相沉积法制备的硬 不穷 ¨-2]。TiC与 TiN一样都具有面心立方结构， 质薄膜在高温下具有 良好的导热性和 良好的膜 一 属于难熔化合物，不仅具有高硬度、高熔点的特点， 基结合力，在机械加工行业受到了极大的欢迎 。 而且还具有 良好的导热性、导电性、耐酸碱及耐腐 最近的研究表明，TiC涂层虽然具有 良好的结合力、 蚀性能 。在新型工具涂层材料 中，TiC具有很好 耐用度和抗氧化性能，但在涂层与基体之间会产生 的综合性能，已成为主要的涂层材料之一。TiC涂 脆性相，导致 刀 片的脆性 增加，抗弯 曲强度 降