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表面等离子体共传感系统耦合元件的设计和研究

摘要 摘要 从SPR现象被发现并用于传感技术至今,人们在sPR传感技术的理论研究 和实际应用方面都取得了显著的成果。本文首先回顾了sPR技术的主要发展历 史,简要介绍了sPR传感器的工作原理、技术参数与分类,并讨论了sPR传感 器的最新应用领域和SPR传感技术的发展前景。 现有的sPR传感器大部分是采用棱镜耦合方式实现的,而棱镜耦合结构存 在机械界面,需要进行多方面的维护。这也限制了SPR仪器作为研究仪器的使 用。本文在光栅理论研究的基础上,设计出了五种以上不同的SPR传感器衍射 光栅的结构,并结合衍射光栅耦合元件的原理和计算,制作了基于衍射光栅的 SPR传感器芯片,此类传感器芯片采用高度集成工艺制造,避免了使用中的机 械损伤,大大降低了维护成本,符合sPR传感器芯片的发展方向。 在此基础上,本文提出并设计了基于集成反射的SPR光学耦合元件,主要 包括以下三种类型:柱面型、透镜型以及抛物面型等,对这些类型的反射耦合 元件的尺寸和参数进行了计算,并对它们分别进行了一定程度的仿真,取得了 较好的效果。 ’ 为了使SPR耦合元件达到设计的目的和设计的要求,同时在工艺上能够顺 利实施,选择合适的光学材料也是至关重要的,本文对不同的光学材料也进行 了分析和研究,结合特定的工艺,从而能够制作出符合要求的sPR耦合元件。 关键词:表面等离子体共振;生物传感器;衍射光栅;反射型光学耦合元件 Abs自ract Abstract SincetheSur‰e w笛n甜ced卸d Pl硒mon鼬S0nance(SPR)phen锄∞on inboth f.or haVe∞hieVedsllccess 印pliedse璐ing,people grcat tlleoreⅡcal咖dy眦d of re“ewttle applicaljonSPR蝴technology.1Ks pmctical p印盯attemp协to insPR m苟ordevelopmemstecllnolog),firstly.nbrienyin廿oduces让屺principle,柚d also ofSPRbiosenso体.Thenmain presentspaI锄nete塔andconfi毋lrations are鹊ofSPR ofSPRbiosensors applica虹on bio鲫1so墙观d劬叫昔prospects arediscussed. tcchnology The SPR e虹Stjngbio∞nso墙a∞mostly∞alized勰prim.couplcds臼删:嘶s,While tllese铽istsmedlaIlical mainmenaIlce.Thisalsolilnits imerf犯,whichrequiremuItiple theraSter theu鸵ofSPRsystemforrcs黜hcquipment.T11istheoreticalIese砌in discllssionsontheb解isof也e ofSPRbiose∞o陷di伍瓢撕on in-depth principles

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