RF-PECVD法在不同的基底上生长纳米金刚石及碳纳米管纳米金刚石复合物.pdfVIP

第 33卷 第 4期 物 理 实 验 V01．33 No．4 2013年 4月 PHYSICS EXPERIMENTATION Apr．。2013 RF—PECVD法在不 同的基底上生长纳米 金刚石及碳纳米管 ／纳米金刚石复合物 徐 强 ，杨光敏。，秦宏宇 (1．长春工程学院勘查与测绘工程学院，吉林 长春 130022； 2．长春师范学院物理学院，吉林 长春 130032) 摘 要 ：采用 PECVD技术 ，在氯化钠基片上合成 了纳米金刚石 ，并研究了其生长机制．采用同样的技术 ，以硅片为 基底，选用不同的沉积参量，分别合成了纳米金刚石、碳纳米管及碳纳米管 ／纳米金刚石复合物 ，研究了其场发射性能． 实验结果表 明：碳纳米管 ／纳米金刚石复合物 的场发射性能优于碳纳米管和纳米金刚石的场发射性能． 关键词：纳米金刚石；碳纳米管；碳纳米管 ／纳米金刚石复合物；等离子体增强化学气相沉积；场发射 中图分类号：0484 文献标识码 ：A 文章编号：1005—4642(2013)04—0009—05 在场发射的应用 中都存在优缺点 ]，设想制备出 l 引 言 二者的复合物 ，扬长避短 ，发挥它们 的协同效应 ， 近年来碳纳米管和纳米金刚石薄膜材料因突 从而获得更加优异的场发射性能．在本文 中，在 出的物理及化学性能引起 了人们的广泛关注，这 NaC1基片上制备出了纳米金刚石，并研究了其形 些性能来源于碳不同的成键结构和微观结构 [】]． 成机制 ，同时合成 了纳米金刚石、碳纳米管及碳纳 碳纳米管主要 由sp 杂化 的碳原子组成 ，具有优 米管／纳米金刚石复合物 ，研究了其场发射性能． 异的电子传输性能．纳米金刚石则主要 由sp。杂 2 实 验 化的碳原子组成，具有高的硬度 ，高的化学稳定 性 ，且表面氢化的纳米金刚石具有负电子亲和势． 生长在单晶 Si片上的纳米金刚石颗粒、纯碳 碳纳米管、纳米金刚石 因独特 的力学性能和 电学 纳米管、碳纳米管 ／纳米金刚石复合物的基底预处 性能而成为具有应用前景的场发射材料．值得关 理方法和制备方法详见文献E63．将 NaC1(100) 注的是 ，纳米金刚石薄膜 的场发射机制不 同于多 单 晶片放置于丙酮溶液中，超声清洗 3min，用吹 晶金刚石 ，当金 刚石 的晶粒尺寸减少到 nm 量级 风机吹干 ，放在 RF—PECVD真空室的样品台上进 时，晶界处 的石墨所形成 的导 电能力 比原来增加 行化学气相沉积 ，得到了纳米金刚石颗粒．样品 了数百倍 ]．因此，鉴于纳米金刚石和碳纳米管 制备沉积参量详情见表 1． 表 1 样 品制备沉积参量表 收稿 日期 ：2012—11—05；修改 日期：2013—02—24 作者简介：徐 强 (1981一)，男，重庆北碚人，长春工程学院勘查与测绘工程学院讲师，硕士，从事金刚石、碳纳米管的 制备和场发射性能研究． 通讯联系人：杨光敏 (1981一)，女，河南周 口人，长春师范学院物理学院讲师，博士，从事金刚石 、碳纳米管及碳纳米管 基复合物生长机制研究． 第 4期 徐 强，等 ：RF-PECVD法在不 同的基底上生长纳米金刚石及碳纳米管 ／纳米金刚石复合物 11