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2016-02-28 发布于天津
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Structural and Optical Characterization of Indium Zinc Oxynitride Thin Films.pdf

JournalofMaterialsScienceandEngineeringA4(3)(2014)91·98 … … N StructuralandOpticalCharacterizationofIndium Zinc OxynitrideThinFilmS Jos4JuanOrtegaSigala一，MariaLeticiaP6rezArrieta，HugoTototzintleHuitle，MiguelAngelAguilarFrutis， CiroFalcony．VictorHugoM 6ndezGarci andJosddeJesfisAraizaIbarra j．AeademicUnitofPhysics．UAz．Zacateeas．C．P．98060,Mdxico 2．CiAC、．UAsLP．SanLuisPotosLC．P 7821o．Mdxico 3 CICATA lPN．M6xicoD．F．．C P．11500,Mdxieo 4DepartmentofPhysicsCINVESTAv．IPN．MdxicoD．F．．CP．07360,M~xico Received：February13，2014 ／Accepted：March08，2014 ／Published：March10，2014 Abstract：Indium zincoxynitride(IZON)thinfilmsweredepositedonSi(1O0)substratesbyRFreactivemagnetronspu~eringat differentsubstratetemperaturetostudytheirstructuralandopticalproperties．A11thefilmsweredepositedinareactiveatmosphereof nitrogenandargon．Asprecursormaterial，anIZOtarget(1n203一ZnO，90—10wt％)withapurityof99．99％wasused．Thecrystalline structureofthefilmswasanalyzedbyX—Raydiffractiontechnique(XRD)，thedepositedIZONthinfilmswerepracticallyamorphous withsomepolycrystallinecontentsforthefilmsdepositedat 100。Cand300。C．Therefractiveindexandtheextinctioncoefficienthad beenobtainedfromSpectralEllipsometry (SE)analysesusingtheClassicalandAdachimodels，bothresultswerequalitativelyand quantitativelyapproximate．Theseopticalresultswereanalyzedandusedtoproposeroughnessvaluesofthefilmssurface，throughof anappropriateproposalofthestructureofthefilms．Theroughnessvaluesobtainedfrom opticalmodelswerecomparedwiththe moprhologicalresultsstudiedbyAtomicForceMicroscopy(AFM)，nadtheroughnessvalues，obtainedbydirectandindirectmeasure， wereconsistentbetweenthem ．FheincorporatednitrogenreducedthetypicalcrystallizationofIZO nadfavoredthedepositionof transparentthinfilmswithvery flat surfaces，theseresultsshowsthattheIZON hasna idealamorphousmaterialforapplicationsas conductiveoxynitridelayers． Keywords