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第 34卷 第 1期 航 空 材 料 学 报 Vo1．34，No．1 2014年 2月 JOURNALOFAERONAUTICALMATERIALS February 2014 VC／Ni纳米叠层薄膜的制备及力学性能 周小军 ， 易健宏 ， 倪成林 ， 徐成竹 ， 黄 峰 ， 张学东。， 徐 英 (1．昆明理工大学 材料科学与工程学院，昆明650093；2．中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室，浙江 宁波 315201； 3．贵州新安航空机械有限责任公司，贵州 安顺 561003) 摘要：采用中频脉冲磁控溅射双靶交替沉积，制备了调制周期为4nm，12nm和 88nm的VC／Ni纳米叠层薄膜 以及 纯VC薄膜。利用XRD和 SEM对薄膜结构进行分析，并通过纳米压痕和维氏压痕对薄膜的硬度、模量以及韧性进 行了表征 。结果表 明：双靶交替沉积制备的VC／Ni纳米叠层薄膜界面清晰、薄膜生长 比较致密 ；三种周期的叠层薄 膜硬度均为 20GPa，与纯 VC薄膜相 比韧性得到了明显的改善 ；随着调制周期的增加 ，发现 VC／Ni纳米叠层薄膜 的 硬度先增大后减小，韧性先降低 ，后提高，存在一个性能转折 的临界周期 。 关键词：磁控溅射交替沉积；VC／Ni；纳米叠层；调制周期；韧性 doi：10．3969／j．issn．1005—5053．2014．1．007 中图分类号 ：0484 文献标识码 ：A 文章编号 ：1005—5053(2014)010·039-07 第Ⅳ至第Ⅵ副族过渡金属氮化物 、碳化物 ，熔点 硼化物陶瓷和金属本身组合体系 ，，H，” 。。；金属 高(2650~C)，力学性能优 良，如高硬度 (24GPa) 的氮化物、个别碳化物陶瓷和第一过渡系金属组合 和高温强度、卓越的摩擦磨损性能、良好的化学稳定 体系 。这两大类共 的同特征是 ：1)两层选用 性等 ，因此 ，被作为硬质薄膜广泛涂镀于机械零件和 的金属和陶瓷具有 良好 的浸润性 ；2)两者原子尺寸 刀具表面 ¨ 。 失配度 比较小。 VC是硬度最高的过渡金属碳化物之一 ，VC作 目前所报道 的纳米叠层结构薄膜 ，多通过反应 为切削航空钛合金和镍合金 的刀具涂层还具有低摩 溅射 ，非反应直流、射频磁控溅射以及 电子束蒸发沉 擦系数 ，低导热率和高耐蚀性等优异性能，并且使用 积制备 。 中还可因表面形成 V，O 的 自润滑作用显著降低刀 本研究采用非反应 中频脉冲磁控溅射交替沉 具 的切 削阻力 ，提高钛 、镍合金的切 削速度和 积。第一 ，非反应溅射只需要控制样 品台转速就可 切 削精度 。但是硬质薄膜韧性低 ，与基底变形协调 以方便的制备叠层薄膜 ，工艺简单 ；第二 ，中频脉冲 性差等原 因，使得薄膜过早失效 。纯 VC薄膜也 溅射可以防止靶 中毒 ，价格相对便宜 ，溅射效率也高 具有韧性低这一缺点，限制了它的使用寿命和在更 于射频溅射 。 多领域的应用。因此 ，改善 VC薄膜 的韧性显得极 另外 ，通过设计纳米叠层结构对碳化物薄膜增 其重要。 韧的研究也最为少见。室温下 Ni对 VC具有 良好 近年来 ，一些文献报道 了组合硬质材料 (陶瓷) 的润湿性 。 和软质材料 (金属)，通过设计纳米尺寸 的陶瓷 ／金 基于此 ，本研究采用 中频脉冲磁控溅射交替沉 属叠层结构来调控薄膜 的强度和韧性 ，得到综合性 积 了三个不 同调制周期的 VC／Ni纳米叠层膜和单 能优异的薄膜 。 层纯 VC