图形发生器使用说明.docVIP

DY-2000A型纳米通用图形发生器 DY-2000A型纳米通用图形发生器是用于电子束曝光的关键设备, 它与扫描电子显微镜(SEM)或聚焦离子束系统(FIB)连接能够方便地制作微米和纳米结构, 特别适用于微电子器件、量子器件、光电子器件、声表面波器件、微机电系统的研究和开发。 图形发生器控制聚焦电子束在有电子抗蚀剂的基片上扫描，扫描后抗蚀剂的物理和化学性能发生变化，经过显影处理后基片上就会形成图形，这就是电子束曝光的过程。由于扫描电子显微镜可以形成小到几纳米的束斑，因此利用它可光刻极高分辨率的图形。利用图形发生器的曝光剂量控制功能，也可以制作三维微细结构。 图形发生器的构成与功能 1. 构成： 高速数字信号处理器（DSP）））图形发生器提供的曝光方式 1．单场单层曝光 这是电子束曝光的最简单方式，它不需要高精度和电机控制的工件台，但是这种方式下要求曝光的图形小于SEM一个曝光场的大小，并且曝光的最小特征尺寸在线性区内。 2．单场多层曝光 当制作的器件需要几个曝光步骤时需要使用这种方式，这时必须精确放置每层曝光的图形以使其与前面的图形对应，每层曝光前执行标记识别和场校正程序来完成套刻功能。 3．在不同位置曝光多个结构 系统可以在样品的不同位置自动曝光相同或不同的结构图形，这时需要电机控制的工件台，曝光任务可以包含上面的单场多层曝光。 4．多场曝光（场拼接）/掩模制作 与以上描述的曝光方式不同，这种方式要求有高精度的样品工件台（如：带有激光干涉仪）。曝光场尺寸必须根据图形要求的分辨率自由选择，太大会带来场边缘的非线性，所以当设计的图形大于一个曝光场时，需要多个场拼接起来形成完整图形。 为了得到高拼接精度，曝光场尺寸和畸变必须利用激光干涉仪系统校正。软件自动分割设计的图形，控制完成整个曝光过程。 5．用预先在每个曝光场制作的标记进行多场曝光 这种方式可以在没有激光干涉仪的情况下制作大尺寸的结构图形，这时在每一个曝光场中要预先制作标记，标记可以用光刻机或电子束曝光机制作，拼接的精度与标记制作的精度有关。 图形发生器的面板与连接 DY-2000A型纳米通用图形发生器的前面板 图1 DY-2000A图形发生器的前面板图 显示面板：用于曝光图形的跟踪显示 系统复位：用于图形发生器系统复位操作 显示复位：当显示屏出现故障时进行复位操作 束闸极性：用于束闸极性的翻转，相应的指示灯用于显示束闸极性 电镜控制：用于控制扫描电子显微镜的内、外扫描方式的切换。其上相应的指示灯用于显示扫描电子显微镜的工作状态，指示灯亮表示电镜处于外扫描方式；指示灯灭表示电镜处于内扫描方式。 电源开关：用于图形发生器的开关 DY-2000A型纳米通用图形发生器的后面板 图2 DY-2000A图形发生器的后面板图 X输出：BNC接头，用于扫描电子显微镜的X方向扫描 Y输出：BNC接头，用于扫描电子显微镜的Y方向扫描 束闸输出：BNC接头，用于接束闸电源，进行束闸开关控制 遥控输出：BNC接头，用于扫描电子显微镜的内、外扫描控制 保险丝：图形发生器的保险丝（220V，2A） 电源插头：用于交流电源220V输入 检测输入：BNC接头，用于二次电子检测信号的输入 SCSI数据通讯：连接SCSI线，用于和计算机中SCSI卡的数据通讯 位置误差信号输入：对于配备激光控制工件台的曝光系统，用于工件台的位置误差信号输入 DY-2000A型纳米通用图形发生器与计算机的连接 DY-2000A型纳米通用图形发生器的SCSI信号线与计算机的SCSI卡连接见图3。图4所示为正在工作的图形发生器界面。 图3 计算机的后面板 图4 正在工作的图形发生器计算机界面 开机时的注意事项 由于本设备需要对特殊计算机板卡的识别，因此在开机时请严格遵守操作规程，否则将无法正常运行此设备。 打开计算机前先打开图形发生器本身，如果你已经打开了计算机，请在打开图形发生器后再重新启动计算机。 打开控制用计算机或者重新启动计算机。 进入Windows 2000操作系统，可以利用Administrator账户进入，该账户在首次安装时将不安装账户口令。为了您的方便，请安装多用户并且给各个账户设置口令。 在Windows 2000桌面就可以看到曝光软件的快捷图标，请参见本说明书进入曝光程序。 关于曝光图形的编辑可使用本曝光软件，也可以使用其他的曝光图形编辑软件，如L-Edit、CAD等，本曝光软件识别*.CIF、*.GDS和*.DXF格式的曝光文件。 可能出现的故障和相应的解决办法 开电源开关，图形发生器没有响应。 ------请检查电源插头是否接好。 打开图形发生器，进入曝光软件后出现错误信息。 ------请检查SCSI卡或SCSI连线是否接好。 进行曝光操作时，曝光软件运行正常，但图形发生器的显示屏幕没有跟