基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺.pdfVIP

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2016-03-28 发布于河北
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基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺.pdf

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基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺.pdf

第46卷第1期机械工程学报 V01．46NO．1 20l0年1月 Jan． 2010 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING DoI：10．3901／JME．2010．01．182 基于感的三维术。蚀r 娣微主个挫忆眙嫩△口随襟离烈阡制剖作技艺张段芹褚金奎侯志武王立鼎 (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室大连 116023) 摘要：根据感应耦合等离子(Inductivelycoupled 刻蚀制作3D微拉伸梁结构的工艺并解决其中的难点问题。介绍ICP刻蚀工艺参数对刻蚀质量的影响，包括存在的微负载效应和深宽比效应。详细介绍热氧化硅薄膜微拉伸梁的制作，其关键步骤是双掩膜两次ICP刻蚀形成阶梯状窗E1结构，并在硅衬底表面形成释放了的热氧化硅薄膜梁。利用ICP刻蚀对单晶硅的高选择性，此制作工艺适用于各种薄膜的微拉伸梁制作。关键词：感应耦合等离子刻蚀阶梯状窗口热氧化硅薄膜微拉伸梁中图分类号：TN305 of3DMicroTensile MicromachiningProcessing Specimens Basedon Plasma InductivelyCoupledEtching ZHANG CHUJinkuiHOUZhiwuⅥ狐NG Duanqin Liding forPrecisionNon—traditionalof of Laboratory MinistryEducation， (Key Machining Dalian of 11 UniversityTechnology,Dalian6023) Abstract：Basedonthemechanismof of3Dmicrotensile inductivelycoupledplasma(ICP)etching，themicromachiningprocessing with beamsisresearchedinthe ofthestructurecharacteristicsofthethermalsilicondioxidemicro-tensilebeamsand the light of themain inthe influencesICP