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第四章 电子显微分析 一、分辨率——光学显微镜的局限性 1. 分辨本领（Resolving Power） 是指光学仪器所能区分的两相邻物点之间最小距离，d越小，表示能分清物体的细节越细，分辨本领越好。 2. 成象(分辨)质量三个决定因素 第三 对光学仪器而言，任何系统的最终像将形成在某种装置上，如眼睛的视网膜，电视摄像的镜头等，这些光学“仪器”的分辨率，不仅有一定的限制，而且仅能反映可见光。 二、电子显微镜工作原理 电子显微分析，是利用高能电子束和物体表面相互作用而获得微区信息的技术和科学。 电子显微镜是以波长极短的电子波作为照明源，以电磁透镜聚焦成像的电子光学仪器。 （一） 电子性质 1．电子的波动性 粒子的波长与其具有的质量和运动速度有关； λ=h/mv 电子波是物质波的一种。 高速运动的电子所具有的动能是由电场提供的： 1/2mv2=eV 整理得：λ= h / (2meV)1/2 把h=6.62×10-34Js，e=1.60×10-19C， m0=9.11×10-34kg 代入可得电子波长： λ：?； V: V 在电子显微镜中，电子的加速电压很高，电子速度很大，接近光速。此时需考虑运动速度对粒子质量的影响． 加速电压与电子波长 加速电压（kV） 电子波长（A） 加速电压（kV） 电子波长（A） 25 0.076 200 0.025 50 0.054 500 0.014 75 0.043 1000 0.0087 100 0.037 3000 0.0036 2．微粒性 电子的微粒特性决定了它在高速运动状态下通过物质时，会与物质相互作用产生散射和吸收。 (二) 电子在电磁场中的运动特征 1. 电子在静电场中的运动轨迹受电场的强度和形状制约。 当具有速度v的电子沿着与电场的等电位面法线成一定角度运动时，在电子进入电场中不同场强间的界面(等电位面)的瞬间，运动方向将发生改变。 静电透镜：我们把能产生凸透镜形状的等电位曲面簇的电极装置称为静电透镜。下图表示出静电透镜与光学透镜光路的比较。 2．电子在磁场中的运动轨迹受磁场的强度和形状制约。 电子在磁场中运动，将受到洛伦磁力作用。在均匀磁场中，磁力线互相平行，等磁位面是一系列垂直于磁力线的平行平面.磁场方向是固定的，电子在其中运动将作圆周运动或沿着磁场方向作螺旋运动. 如果我们把非均匀磁场的等磁位曲面簇做成轴对称的凸透镜形状（具有此性质的装置即为电磁透镜），那么电子在其中运动时也将会产生偏向轴方向的折射，使它的运动轨迹呈圆锥螺旋状。 电磁透镜光路与光学透镜光路的比较及电磁透镜的工作原理如图所示。 三、透射电子显微镜和扫描电子显微镜 1. 仪器结构 （1）照明系统 电子枪、第一聚光镜、第二聚光镜 （2）样品室 样品移动机械装 （3）成像放大系统 物镜、中间镜、投影镜 （4）观察记录系统 观察室、照相装置 透射电子显微镜中，物镜、中间镜、投影镜，总的放大倍数就是各个透镜倍率的乘积。 M = M0MiMp 式中：M0---物镜放大倍率，数值在50-100范围； Mi----中间镜放大倍率，数值在0-20范围； Mp---投影镜放大倍率，数值在100-150范围， 总的放大倍率M在1000-200,000倍内连续变化。 * * 第一 光线不可能传递所有信息，光波讯号是决定分辨本领高低的主要因素； 第二 分辨本领的高低还取决于光学仪器元件的精度； 对光学显微镜来说，起主要作用的是物镜，由计算得到光学显微镜所能分辨的最小距离d=0.61(λ/n·sinα) 对于玻璃来说，最大的孔径半角α=70°~75°， 折射率n≈ 1.5，其数值孔径 nsinα ≈1.25 ~ 1.35。 因此式可以简化为：d =(1/2) λ 以上说明分辨本领主要取决于照明波长。可见光的波长在3900~7600?之间，光学透镜分辨本领极限值可达2000?。 入射电子束 吸收电子 二次电子 背散射电子 俄歇电子 特征X