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项目3 力学传感器及其应用 应变式传感器 电感式传感器 电容式传感器 压电式传感器 压磁式传感器 3.1 测力传感器 力是物理基本量之一,因此测量各种动态、静态力的大小是十分重要的。 力的测量需要通过力传感器间接完成,力传感器是将各种力学量转换为电信号的器件。 力传感器示例 1、测力传感器的分类方式 ★ 电气式测力传感器的分类有: 参量型测力传感器: 将被测物理量转化为电参数。如电阻、电容或电感等。 发电型测力传感器: 将被测物理量转换为电源性参量。如电动势、电荷等。 2、测力传感器的种类 ★ 电气式测力传感器 参量型测力传感器 发电型测力传感器 电阻应变式 压电式 电容式 测力传感器 测力传感器 电感式 压磁式 3.1.1 电阻应变式测力传感器 由弹性元件、电阻应变片及外壳等组装成的用来进行测量的装置,称为应变式传感器。 1、应变式测力传感器的工作原理★ 电阻应变式测力传感器的工作原理是在一定形状的弹性元件上粘贴或用其它方法安装电阻应变敏感元件。当接触力作用在弹性元件上时,弹性元件产生变形,电阻应变敏感元件的阻值随之发生变化。 我们可用变换电路将阻值的变化变成电压(或电流)的变化,并将其信号输出到测量电路,根据电压变化量即可得知接触力的大小与作用位置。 柱型应变式测力传感器结构 柱型弹性元件力与应变的关系★ 柱型传感器特点:结构简单,紧凑,可设计成压式或拉压式,可承受大载荷,强度计算简单。 纵向应力: σ=F/S=Eε 其应变为: ε= ΔL/L =σ/E=F/SE 式中 σ——弹性元件的纵向应力(Pa); ε—— 纵向应变; F—— 受力(N); S—— 弹性元件的横断面积(m2) E—— 元件材料的弹性模量(Pa) 薄壁环型应变式测力传感器结构 薄壁环型弹性元件力与应变的关系★ 薄壁环式应变弹性元件,其应变片在薄壁式弹性元件上的位置如图所示。其应变公式为: 式中:εA一A处的应变值 εB一B处的应变值 εh一电桥输出的应变值; R0一薄壁环平均半径(m); R一薄壁环内圆半径(m); b—薄壁环的宽度(m); h一薄壁环的厚度(mm)。 F—受力(N); E—元件材料的弹性模量(Pa) 梁型应变式测力传感器结构(1) 梁型应变式测力传感器结构(2) 悬臂梁式弹性元件力与应变的关系★ 悬臂梁式应变弹性元件,其应变片的位置如前图所示。其上下表面的应变值为: 式中:l—悬臂外端距应变片中心的长度(m); b—悬臂宽度(m); h—悬臂厚度(m); F—受力(N); E—元件材料的弹性模量(Pa) 等强度悬臂梁式弹性元件力与应变的关系★ 等强度悬臂梁式应变弹性元件,其应变片的位置如图所示。其上下表面的应变值为: 式中:l—梁的长度(m); b—梁的宽度(m); h—梁的厚度(m); F—受力(N); E—元件材料的弹性模量(Pa) 两端固定梁式弹性元件力与应变的关系★ 两端固定梁式应变弹性元件,应变片的位置如图所示。其上下表面的应变值为: 式中:l—梁的长度(m); b—梁的宽度(m); h—梁的厚度(m); F—受力(N); E—元件材料的弹性模量(Pa) 2、弹性元件力与应变关系的结论★ 在电阻应变式测力传感器中,当弹性元件的尺寸和材料确定后,弹性元件在外力作用下所产生的应变与外力成正比。 3.应变片 电阻应变片(简称应变片)的作用是把导体的机械应变转换成电阻应变,以便进一步电测。 实际的应变片根据敏感元件材料的不同,主要分为金属电阻应变片和半导体应变片两类。 金属电阻应变片分为体型和薄膜型。 半导体应变片常见的有体型、薄膜型、扩散型、外延型、PN结
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