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自动排片机在IC芯片分选中的应用研究.pdf
EP E 电子工业专用设备 IC 制造与设备
Equipment for Electronic Products Manufacturing
自动排片机在IC 芯片分选中的
应用研究
郭 东，郎 平
( 中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 101601)
摘 要： 介绍了针对排片机（又称挑粒机）将 芯片与蓝膜分离并置于片盒中的过程中，如何控
IC
制拾取与放置的动作，以及芯片取放过程中的时间、真空和压力控制。
关键词： 排片机；真空；压力；控制
中图分类号： TN605 文献标识码： B 文章编号：1004-4507(2011)04-0021-05
The Application Study of IC Chip Sorter
GUO Dong ，LANG Ping
(The 45th Research Institute of CETC ，Beijing 101601 ，China)
Abstract: The article is elaborated in the process that chip Sorter makes the IC chips are separated
from the blue film and are placed in a tra
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