平面电机讲义教案分析.docVIP

平面电机 0引言 目前，实际应用较为广泛的能够实现二维及定位的方法有三种：压电陶瓷柔性铰链机构驱动，传统的旋转，直线电机进行直接驱动。虽然这三种机构都可以实现二维平面定位，但是均存在着不同方面的缺陷。柔性铰链机构和压电陶瓷驱动元件所组成的系统易实现整体式结构、位移控制精度高、功耗小，但是柔性铰链的阻尼、小行程，以及压电陶瓷的迟滞、非线性等特性对工作台性能的提高带来不利影响。由于丝杠加螺母等直线运动转换机构存在摩擦、侧隙、变形等一系列问题，并且转换机构的两套传动链引入了附加质量，使得传统的两组旋转电动机加直线转换机构定位装置的精度和响应速度很难达到较高的水平。直线电动机构成的平面定位装置虽然定位精度有了很大的提高，但是仍未摆脱低维运动机构叠加成高维运动机构模式，底层直线电机仍需要承担顶层直线电机以及相关机械连接件的质量。 为了使二维装置能够实现更高精度的定位，需要研究利用电磁能直接产生平面运动的，即平面电机。与传统的定位工作台相比，平面电机的运动轨迹不是靠两个相互垂直的导轨运动方向上的合成而致，而是直接利用电磁能产生平面定位运动，具有出力密度高、低热耗、高精度等特点，另外由于摒弃了丝杠、螺杆等中间转换装置，故可以实现控制对象和平面电机的一体化，因而具有响应速度快，灵敏度高，随动性好以及体积小等优点。根据电磁推力的产生原理，可将平面电机分为变磁阻型感应型永磁型和大类，其中变磁阻型又包含