多晶硅学习资料.ppt

* 操作流程 五、上料 1、将硅片稍微捻成扇形进行上料，每次最多拿100片； 2、将片子放置在滚轮的中间，使硅片与滚轮两边隔挡保持平行。 注意事项： 1、将硅片捻成扇形，可以减少上料时对硅片抽取作用力的摩擦，减少碎片；产生的碎片用黑盒收集； 2、硅片的间距控制在3-5cm； 3、留意外观不良（线痕、碎晶、脏污等），挑出并及时通知IQC。 * 操作流程 六、下料 注意硅片是否吹干，硅片表面有无脏污、滚轮印，如有异常及时通知工艺和设备人员，插好的片子及时放入传递窗中。 注意事项： 清洗下料的承载盒非开口向上，清洗机流出的片子为正面，插片时片子的方向和承载盒非开口方向一致。下料员工禁止用手拿硅片。 * 操作流程 七、异常报警确认及巡检 1、每10min对清洗机进行巡查一次，以防机碎和叠片。如有异常及时通知设备； 2、检查清洗机有无报警信息，如有报警信息，及时通知工艺和设备。 注意事项： 1、巡查过程中禁止将设备打开，所有叠片卡片的片子全部做返工处理； 2、出现槽体低液位、泵浦异常报警记录时，立即停止投片，并通知工艺； 3、出现集中供液不足，及时去泵房更换药桶。 * 七、传片 在流程卡上清楚的填写硅片的型号、批号、序号、线别、班次、批量、日期、数量要准确无误后，将硅片快速下传。 注意事项： 传片过程中严禁传递窗对开。 操作流程 * 4. 制绒异常处理 * 目的： 对目前制绒间出现的制绒减薄量或外观异常的原因进行汇总和分析处理。 目的 * 1、减薄量偏大 减薄量异常 原 因 措 施 初始配液 提高带速,制绒槽加水稀释 自动添加异常 检查自动添加补液量 制绒槽温度偏高 检查冰水机是否打开 * 减薄量异常 2、减薄量偏小 原 因 措 施 药液挥发，浓度偏低 降低带速 ，手动补液HF和HNO3 3号槽第一把水刀角度偏大 调整3号槽水刀角度 自动添加异常 检查自动添加补液量 * 3、外观异常 外观异常 异 常 表 现 原 因 措 施 片子绒丝较重 制绒槽HF浓度高 加水稀释，补HNO3 片子发亮 制绒槽HNO3浓度高 加水稀释，补HF 下料黄斑和黑色斑迹 4号槽体的NaOH的浓度过低 4号槽补NaOH 背面滚轮印 停机时间较长，药液挥发多 手动补HF和HNO3 制绒槽和碱槽滚轮脏 清洗滚轮 * 4、下料吹不干 方阻异常 原 因 措 施 风刀堵塞或角度不对 清洗更换风刀和调整风刀角度 混酸槽脱水效果不好 补HF增加脱水效果 风刀流量偏小 增大风刀流量 * 5. 制绒PM作业 * 目的： 保证制绒设备洁净度，减少杂质对硅片的污染。维持各功能槽工艺环境稳定性（风刀、水刀流通性、功能槽回流流通性等），保证生产稳定性。 目的 * 一、环境要求 1、压值：≥10帕； 2、温度：21℃~27℃； 3、 湿度：（45±15）%； 4、洁净度：10万级。 环境要求 * 二、制绒间测试 名称 要求 温度 循环测试 湿度 循环测试 压差值 每周一次 洁净度 每天一次 制绒间测试 * 二、 Kuttler—主要PM项及相应责任人 * * 制 绒 培 训 资 料 * 技术部 赵东旭 2014年2月 * 目录 * * 前言 * 制绒目的 * 单晶硅片碱制绒绒面形状 多晶硅片酸制绒绒面形状 制绒目的 * 多晶酸制绒原理 酸性腐蚀 酸对硅的腐蚀速度 与晶粒取向无关， 遵循各向同性腐蚀 酸性制绒的过程 中会产生大量的 热量，从而使反应 温度上升很快 * 酸腐蚀是HNO3 （氧化剂）先将Si氧化成SiO2，然后通过HF （络合剂）使SiO2溶解，生成络合物H2SiF6。上述两个过程是同时进行的。 酸与硅的反应可以看作局部电化学过程，在反应发生的地方形成了阳极和阴极， 反应的过程中有电流在两极之间流过。阳极是硅的溶解反应， 阴极是 HNO3 的消耗反应。 阳极反应： Si+ 2H2O+h+→ SiO2 + 4H++(4- n)e- SiO2+ 6HF → H2SiF6 + 2H2O（络合反应） 阴极反应: HNO3+ 3H + → NO+ 2H2O+3h + 在HNO2存在时，反应按下式进行： HNO2+HNO3N2O4+H2O N2O4=2NO2 2NO2=2NO2-+2h+ 2NO2-+2H+=2HNO2 最后式中所产生的HNO2再按第一式反应，反应生成物则自身促进反应，因此这是自催化反应。因为NO2-在反应中是再生的，所以氧化能力取决于未离解的HNO3的数量。 总反应式： 3Si+4HNO3+18HF → 3H2SiF6+4NO+