第一章电子光学基础解决方案.pptVIP

* * * 带有极靴的磁透镜 为缩小磁场轴向宽度，在环状间隙两边加上一对顶端呈圆锥状极靴，降低磁场在轴向的广延度，可达到3mm范围。 裸线圈、带铁壳和极靴透镜磁感应强度分布不同。 极靴由高导磁材料制成。 带极靴的电磁透镜结构剖面图 有极靴 Bz 无极靴 无铁壳 z 磁感应强度沿透镜轴向的分布图 电磁透镜磁感应强度B沿光轴Z方向的分布 1.3.4 电磁透镜的光学性质 1）电磁透镜物距、像距和焦距三者关系与光镜相似： 2）电磁透镜的焦距可用下式近似计算 R—透镜半径；U—电子加速电压;NI —电磁透镜的激磁安匝数，m —电子的质量；e —电子电荷 u - 物距；v - 像距；f - 焦距 放大倍数M 焦距f 0,会聚镜，凸透镜 焦距f随加速电压的增加而增加 可以通过调节激磁电流控制电磁透镜的焦距 两种调焦方法 3）电磁透镜具有磁转角 电子束在电磁透镜磁场中的运动是圆锥螺旋近轴运动 磁透镜与静电透镜都可以作会聚透镜，但现代所有的透射电镜除电子光源外都用磁透镜做会聚镜，主要因为： 1.3.5 电磁透镜与静电透镜的比较 磁透镜 静电透镜 改变线圈电流强度，就能很方便的控制透镜焦距和放大倍数 需改变很高的加速电压，才可改变焦距和放大倍数 无击穿，供给磁透镜线圈的电压通常为60-100V 静电透镜需数万伏电压，常造成击穿 像差小 像差较大 光学显微镜和电子显微镜均是光学放大仪器，它们的几何成像规律是一样的。不同之处： 可见光 ①光源不同 电子束 玻璃 ②透镜不同 电场或磁场 空气或油 ③环境不同 真空 不同电子加速电压的电子波长 加速电压(KV) λ不修正 (nm) λ修正 (nm) Δλ 20 0.00859 0.00859 0 30 0.00698 0.00698 0 50 0.00548 0.00536 0.00012 100 0.00388 0.00370 0.00018 200 0.00275 0.00251 0.00024 1000 0.00123 0.00087 0.00036 已知光学衍射确定的分辨率为： (n=1.5, α=70-750) 但实际电子显微镜分辨率远远达不到上述指！！！ 像差 几何像差 色差 球差 像散 像畸变 几何像差：是由透镜磁场几何上的缺陷所产生的。 色 差：是由电子的波长或能量的非单一性所引起的。 1.4电磁透镜的缺陷和分辨率 1.4.1 球差 球差即球面像差，由磁透镜中心区和边沿区对电子折射能力不同引起，离开透镜主轴较远电子比主轴附近电子折射程度更大。 物点P通过透镜成像时，电子不聚焦在同一焦点，形成一个散焦斑，即像平面在远轴电子焦点和近轴电子焦点间移动，就可以得到一个最小的散焦圆斑。 显然，物平面上两点的距离2?rs时，则该透镜不能分辨，即在像平面上得到一个点，因此，?rs表示球差的大小。 CS—球差系数，通常相当于焦距，1-3mm. ?-电磁透镜的孔径半角。 减小球差可以通过减小CS 和?来实现，用小孔径成像时，可使球差明显减小。 设最小散焦斑半径为RS，透镜放大倍数为M，其折算到物平面上，其大小为 球面差除了影响透镜分辨率外，还会引起图像的畸变，正球差引起枕形畸变（如图a)，负球差引起桶形畸变(如图b）。由于电磁透镜存在磁转角也会产生旋转畸变（如图c)。 像畸变 1.4.2 像散 电磁透镜的周向磁场非旋转对称引起。 极靴内孔不园 上下极靴不同轴 极靴材质磁性不 均匀 极靴污染 原 因： 透镜磁场的这种非旋转性对称使它在不同方向上的聚焦能力出现差别，物点P通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点，而是形成一散焦斑。 Δ?A——像散焦距差 透镜制造精度差以及极靴、光阑的污染都能导致像散。 可以通过引入一强度和方位都均可调节的矫正磁场进行补偿。在电镜中，这个产生矫正磁场的装置是消像散器。 设最小散焦斑半径为RA，透镜放大倍数为M，其折算到物平面上，其大小为： 电磁式消像散器 1.4.3 色差 色差是由入射电子波长或能量非单一性造成的。 能量大的电子在距透镜光心比较远的地方聚焦，能量低的电子在距光心近的地方聚焦。像平面在远焦点和近焦点间移