研磨测量仪器原理分析报告.ppt

Roughness/ Waviness 0.1A (Vertical Res.) ( 目前控制超过±4A 作调整) ADE6360 System Organization – ADE Relationship between Capacitance distance Principle of ADE The configuration of ADE Measurement Subsystem is illustrated as Figure 1: Current Grind Sort Zygo Maxim (zvn02) Duboff 1.9nm (Vertical Res.) Unix 9.0 OS Zygo NewView Interference Microscope Other(Correlation GRR Study) Correlation分析 CORRELATION GRR分析 Gauge Repeatability and Reproducibility 广义上讲 也就是测量系统分析，包括稳定性、重复性、复现性、偏倚性、线性 狭义上讲 只是分析测量系统的重复性和复现性。 测试前准备工作 选择测试的样品 一般选择10个左右的测试样本，测试样本必须来源于正常生产的产品，而且是用随机抽样的原则选取。测试的样本只要求是正常生产，没有受到损伤的产品，有可能超出规格要求，但这并不意味着有权挑选超出标准的产品来进行测量系统分析。 保证测试样品的稳定性，必要时可以分析样本的稳定性。 选择测试的人员 一般选择2～3名合格，经过认可的操作人员进行测试。 确定GRR分析的时机 一般来讲，发生以下情况时应进行（或重新进行）测量系统分析： ♂新的测试系统； ♂测量系统搬迁； ♂相关工装或测试软件发生重大变化； ♂测试方法改变； ♂测量系统工作环境发生重大变化； ♂客户投诉或出现明显质量问题； ♂测量系统不稳定； ♂产品标准或过程能力要求改变； ♂定期检查； ♂其它认为有必要时； GRR测试方法 1) 对选择的样本进行随机编号； 2) 确定一个操作人员，让他按编号顺序对每个样本测 试一次； 3) 确定另一个操作人员，让他按编号顺序对每个样本测试一次； 4) 重复以上测试1)~3)过程2～3次，使每一个操作员对每一个样本都测试2～3次。 5) 记录测试的结果。 6) 检查测试结果，分析数据。 利用MINITAB进行GRR分析 在GRR分析中，ANOVA method 的主要特点就是用方差分析的原理去估计测试设备及操作人员的变差，ANOVA method可以分析操作员与测试样品之间的交互作用。利用MINITAB14进行重复性以及再现性分析，在worksheet中输入数据，依次打开工具菜单StatQuality ToolsGage RR Study(Crossed)，弹出如下对话框 图表分析示例： 测量系统GRR可以接受的准则如下(参考数据分析结果中“Total Gage RR”项)： .. 小于10% 可以接受； .. 10%~30% 根据应用的重要性，成本方面的考虑，可能是可以接受的，但需要改进； .. 大于30% 不可以接受，应该采取各种措施改进测量系统。 * * * * 研磨涉及的参数仪器原理介绍 2007-1 Chapman- 2000 Detectors: A B Maximum scan length: 100 mm LASER Non-polarizing Beam splitter Detector A Detector B Non-polarizing Beam splitter Viewing System Penta - prism Beam splitter Auto Focus Servo System Automated Nomarski Prism Focus Objective Two Orthogonally Polarized Components Focal Spots Sample Translation Stage Profile Measurement Technique 69mil\50mil --- 测量长度 : 4