气体放电等离子体特性实验.docVIP

实验七 气体放电等离子体特性实验 当温度在0oC会变成水，而温度上升到100oC时，水会沸腾变成水蒸气，这就是我们熟知的物质三态（固态、液态和气态）。而当温度升到几千度时，气态物质由于分子热运动剧烈，物质分子相互间的碰撞会使气体分子发生电离，在电离过程中正离子和电子总是成对出现，这样气态物质就变成由相互作用的正离子和电子组成的物质的第四态－等离子体。由于在等离子体中正离子和电子总数大致相等，因此等离子体在宏观上保持电中性。所以等离子体实质上是密度大致相等的带正电荷的离子和带负电荷的电子组成的电离气体。 因为等离子体有着许多独特的性能，如温度高、粒子动能大，化学性质活泼等，因此广泛应用于能源、物质与材料和环境等领域中。 【实验目的】 本实验的目的是观察气体放电现象，用探极法测量等离子体物理参量。学习掌握真空溅射镀膜的知识。气体原来是不导电的绝缘介质，当我们把它密封在一个长的圆柱形玻璃放电管中，在放电管的阴极和阳极间加上直流高压（管的气体压强几十帕），在所加高压达到某一个电压值时，放电管被明亮发光的等离子体充满，即放电管发生辉光放电，整个放电空间为明暗相间的八个光层所分割，如图1，其中⑥即为等离子区。 图1 ①阿斯屯暗区 由于电子刚从阴极发出，能量很小，不能使气体分子产生电离和激发，因此不能发光，所以是暗区，这是一个极薄的区域。 ②阴极辉区 电子通过阿斯屯暗区的加速，具有较大的动能，当这些电子遇到气体分子发生碰撞时，使气体分子激发发光。 ③阴极暗区 电子经前二区域，绝大部分电子没有和气体分子碰撞，因此在这区域内的电子具有很大的能量，产生很强的电离。而电子较轻，受电场力作用后跑掉，留下大量正离子，使得这里具有很高的正离子浓度，形成极强的正电荷空间，造成电场的严重畸变，结果绝大部分管压都集中在这一区域和阴极之间。在这样强的电场作用下，正离子以很大的动能打向阴极产生显著的二次电子过程，而电子又以很大的加速度离开阳极，向前运动产生雪崩过程。 在这一区域中，电离作用很强激发发光几率很小，是气体获得能量产生电离的区域，因此形成一个暗区。 阴极暗区的长度与气体压强的乘积是一个常数，即。 ④负辉区： 经过阴极暗区之后，电子能量减少，数量增多，所以这一区域有较强的负空间电荷，形成负的电场，由于电子速度很小，很容易被气体分子吸附形成负离子，并与由阴极暗区扩散来的正离子产生复合而发光。在两个区域的交界面处复合特别强，所以交界处光度很强，而离开阴极越远，电子在这一区域受阳极作用速度变大。扩散而来的正离子浓度减小，故离开分界面后，复合减少，光强减弱最后消失。 ⑤法拉第暗区 这是一个过渡性区域，电子在负辉区中已损失了大部分能量，进入这一区域内已经没有足够的动能来使气体分子激发，所以形成暗区。法拉第暗区与负辉区界限不明显，与阳辉区之间有明显的界限。 在这一区域内电子由于不断的弹性碰撞运动方向改变，电子由定向运动而变为杂散运动，最后速度接近麦克斯韦分布规律，而进入正辉区。 ⑥正辉区 又称等离子区、正柱区，空间净电荷浓度为零,电子和正离子浓度一般为，又由于电子迁移率很高，所以正辉区在导电率上接近良导体，在正辉区存有一定的电位降落，用以维持状态的平衡，电位降落的大小取决于电离、消电离及扩散过程，正辉区为均匀或层状光柱，正辉区是本次实验的对象。 ⑦阳极区 阳极区包括阳极暗区和阳极辉区，这是一个可有可无的区域，它的存在取决于外线路电流大小及阳极面积和形状。 三、用试探电极法研究等离子区 所谓试探电极是在放电管里引入一个不太大的金属导体，导体的形状有圆柱的、平面的、球形的等等。试探电极是研究等离子区的有力工具，利用探极的伏特－安培曲线，可以决定等离子区各种参量。测量线路如图2所示。在测量时保持管子的温度和管内气体压强不变。实验装置与电气控制见后。 实验所测得的探极电压和电流画成曲线，如图3所示。对这一特性曲线作如下的解释： AB段表示加在探极上的电压比探极所在那一点的空间电位负得多（以阳极为参考点的探极电位），在探极周围形成了正的空间电荷套层，（图4）。套层的厚度一般小于离子区中电子的自由路程。这时探极因受正离子的包围，它的电力线都作用在正离子上，而不能跑出 层外，因此它的电场尽限于层内。根据气体分子运动理论，在单位时间内有个正离子靠热运动达到探极上，形成的负电流 式中是正离子的平均速度，为正离子浓度，为探极面积，为电子电荷，从式中看出，不随时探极电压而变化，因此AB段为近似平行于横轴的直线。随着探极上负电压的减少，正离子套层变薄，当负电压减至B点时，热运动速度大的电子将有足够的能量穿过正离套层，而到达探极上，因而电流增加较快。当电压减至（点）时，则电子电流和离子电流相等，即电流等于零。探极电压再减低时，则慢的电子也