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压电式MEMS传感器 的稳健设计研究 学生： 导师： 目录 研究背景 研究背景 国内外研究现状 国内外研究现状 国内外研究现状 课题来源 研究目的和意义 研究内容和研究方案 研究内容和研究方案 研究内容和研究方案 工作进度安排 预期研究成果 课题重点难点和创新 敬请各位老师 批评指正 LOGO LOGO 北方工业大学 国内外研究现状 2 研究内容和研究方案 4 研究背景 3 1 研究目的和意义 3 3 工作进度安排 3 5 预期研究成果 6 课题重点难点和创新 3 7 NCUT 1962年，第一个硅微型压力 传感器的问世。 MEMS传感器体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势。 MEMS 传感器已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。 MEMS又被称为微机电系统，是在微机械加工技术提高和集成电路制造技术进步的基础上发展起来的新技术。MEMS主要由控制电路、供电电源、通信通道、微传感器、微执行器等组成。而MEMS传感器是MEMS器件的主要组成部分。 NCUT 稳健设计（Robust Design）是对产品质量、性能、成本进行综合考虑从而获得高质量、高性能、低成本的现代设计方法。 MEMS系统 传统机械设计理论 现代设计方法 PK 不仅是尺度上的微型化，本质上也有着不同。 学者提出稳健设计思想应用于MEMS器件的设计中 传统稳健设计方法，主要有田口方法、响应面法、双响应面法、广义线性模型法等。 以工程模型为基础并与优化技术相结合的工程稳健优化设计方法，有容差模型法、灵敏度法、随机模型法等。 NCUT 应用如下： 微型加速度计 微型压力传感器 数字微镜器件(DMD) 喷墨打印机的微喷嘴 生物芯片等 最近，美国朗讯公司开发的基于MEMS光开关的路由器己经试用。 近年来国际上MEMS的专利数正呈指数规律增长，说明MEMS技术全面发展和产业快速起步的阶段己经到来。 MEMS器件及其稳健设计的研究现状 目前对于MEMS传感器的稳健设计类的论文，可查阅到的国内外文献较少。 采用实验设计（DOE ）和响应曲面模型（RSM ）方法研制微执行器和硅基微通道热沉 利用田口法进行石英晶体微天平和加速度传感器的稳健设计 利用容差法对微机械陀螺的稳健设计 可用于MEMS 器件设计的基于目标函数梯度分析的稳健设计方法和基于器件解析模型的稳健设计。 NCUT 数字化 无源化 新型材料 高精度和 高可靠性 智能化 网络化等 NCUT MEMS传感器 发展趋势 稳健设计的“三化设计” 设计目标优化 目标值波动最小化 设计约束(可行)稳健化 清华大学精仪系研制了一种微型集成自适应加速度测试仪，已成功应用于加速度实验演示系统中。但国内现在生产的一些MEMS产品普遍存在精度不高、性能达不到预期效果和质量不够稳定等缺陷。 NCUT 国家自然科学基金项目：(编号 “基于多铁纳米纤维的微传感器的稳健设计理论与方法研究 主要研究内容：多铁纳米纤维微传感器的稳健设计理论、工作原理、结构设计、加工工艺及制备 NCUT 建模 稳健设计 理论 提高质量 及其稳定性 丰富和完善 MEMS设计理论 压电式MEMS 传感器 NCUT 压电式MEMS压力传感器 BFO压电陶瓷 随机模型和容差模型 图1 纳米纤维结构 图2 压电薄膜结构 NCUT 原理和性能分析 稳健设计研究 仿真和实验验证 1、设计原理 2、结构设计 3、MEMS建模 4、仿真分析 1、功能因素分析 2、稳健设计建模 3、仿真计算 1、原始设计方案与稳健设计方案结果对比分析 2、基于不同模型的稳健设计方案结果对比分析 NCUT NCUT 2015.10 ～2016.6 MEMS压力传感器原理和性能分析，MEMS建模进行仿真，分析影响传感器特性的主要结构尺寸和性能参数，对影响MEMS传感器特性的各个参量进行分析和归类。 2016.6 ～2016.12 研究基于随机模型和容差模型的MEMS压力传感器稳健设计建模方法，对MEMS压力传感器稳健设计模型进行仿真计算，并进行仿真验证和实验验证，验证理论修正结果。 2017.1 ～2017.5 撰写论文，总结研究成果，修改完善论文，做好毕业论文答辩准备。 NCUT 成果1 成果2 成果3 MEMS模型、 仿真分析和 功能因素 MEMS稳健 设计模型、仿真 计算和验证稳 健设计结果 丰富MEMS设计 理论和方法 NCUT 重点 功能因素分析 随机模型和容差模型 压电式MEMS传感器稳健设计方法 创新 PZT纳米纤维和BFO压电薄膜材料 宏观稳健设计应用于MEMS传