精密仪器总复习.docVIP

中等精度、高精度、超高精度的区分； 答 ：精度又称为精确度，是指准确的程度。精度的高低是用误差的大小来衡量的，误差小则精度高，误差大则精度低。 1）中等精度：1um～10um主轴回转精度1 um～10 um圆分度精度1’’~10’’。 2）高精度:0. 1 um～1 um主轴回转精度0.1 um～1 um圆分度精度0.2’’~1’’。 3) 超高精度：直线度小于0.1 um，主轴回转精度小于0.1 um，圆分度精度小于0.1’’. 力变形对精度的影响，要求那几种机床受力对精度的影响，影响最大的是悬臂梁。 力变性有：悬臂式（y轴移动），悬臂式（z轴移动），桥式，桥式悬臂型，龙门移动式，龙门固定式，立轴式，卧轴式。 机床制造误差对工件加工精度影响较大的有：主轴回转误差、导轨误差、传动链误差。 能计算某个部件的自由度； 分析：自由度分为构件自由度（构件具有独立运动参数的数目）和机构自有度（机构具有独立运动参数的数目） 设空间有6个自由度，自由度S与约束Q关系：S=6-Q 三球支撑系统。【现代精密仪器设计，45页，例2-8】 基座采用3点支承。支承之间相互对应。3个钢球支承的形式分别为平面4、圆锥形球窝支撑面5、V形槽支撑面6，V形槽的方向与基座纵向方向平行。 采用这样的结构的优点： 1)工作是无论工作台1怎样移动，1和床身2的重量始终通过3个球支承作用在基座上，这3个垂直力（因为是球支承）只有大小变化，没有方向变化。这3个力传递到基座，这样总体变形很小。 2）这种3球结构直接满足了阿贝原则。 这种3球结构，床身在纵向、横向即转角方向不需增加限制装置，避免附加应力，温度变化也可以补偿。称为无附加内应力的自动定位设计。 制造、安装、运行和原理误差在精密机械与仪器中的程度； 答：在仪器的各种误差源中，制造误差数值最大，运行误差次之。但在仪器测量误差中运行误差将是主要的。 XY工作台的部件，以及电控XY工作台微动系统的原理和分析； 答：x-y工作台系统基本上是由工作台滑板、直线移动导轨、传动机构、驱动电机、控制装置和位移检测器等组成。 由于工作台使用的情况不同，因而对性能的要求也各异。一般的静态和动态性能要求包括有如下一些内容。 （1）静态性能：①工作台的几何精度包括x-y工作台的导轨在水平面内的直线性、垂直平面内的直线性、x方向与y方向的垂直度、x-y方向的反向间隙和反向精度以及工作台面与运动平面间的不平行性；②系统的静刚度工作台传动系统受重力、摩擦力或其他外力的作用而产生相应的变形，其比值称为静刚度；③工作台的定位精度和重复定位精度。 （2）动态性能：①工作台系统的振动特性和固有频率；②速度与加速度特性；③负载特性； ④系统稳定性等。 滑动导轨、滚动导轨、静压导轨的特点。 滑动导轨按导轨承导面的截面形状，滑动导轨可分为圆柱面导轨和棱柱面导轨,特点：结构简单、制造方便、刚度好、抗震性高。但对于金属对金属型式，静摩擦系数大，动摩擦系数随速度变化而变化，在低速时易产生爬行现象。 滚动导轨特点：1.摩擦系数小，运动灵活。不易出现爬行现象；2.定位精度高；3.磨损较小，寿命长，润滑方便；4.对温度的变化不敏感；5.结构比较复杂，加工较困难，成本较高；6.运动件与承导件之间接近于点接触，对承导面的几何形状误差及赃物较敏感，抗震性能较差。 静压导轨特点：（1.可实现高速度、高精度；2.寿命长，工作稳定可靠；3.结构较复杂。） 空气静压导轨有以下优点： ①运动精度高：由于提高了导轨面得直线性和平行度，可以减小支承的间隙。 ②无发热现象：不会像液体静压导轨那样因静压油引发热，也没有热变形。 ③摩擦与振动小：由于导轨之间不接触故没有摩擦，气体粘性极小，可以认为是无摩擦，故使用寿命长。没有振动和爬行现象，可以进行微细的送进和精确地定位。 ④使用环境：由于使用经过过滤的压缩空气（去尘、去水、去油、去湿），故导轨内不会浸入灰尘和液体。另外由于不使用润滑油，故不会污染环境。气浮导轨可用于很宽广的湿度范围。 空气静压导轨有以下缺点： ①承载能力低，因气模的压力，即使在静压情况下，也只有0.3MPa左右（气源压力为0.5MPa左右）。 ②刚度低，在重载荷下，不宜使用。③需要一套高质量的气源. ④对振动的衰减性差，仅为油的1/1000，如果设计不当，可能出现自激振荡等不稳定问题。 ⑤由于气模厚度很小，安装不准确，产生变形影响精度。使用条件要求苛刻，费用高。 液体静压导轨特点：承载能力高，运动精度高，结构复杂，易污染。 传动的作用、传动比计算、传动比分配。 传动的作用： 改变速度的大小：增速、减速、调速； 改变运动的方向：顺时针、逆时针、空间变向； 改变运动的方式：转——转，转——移，转——间歇，转——摆动。 按传动的用途可分为：