应用于微纳米颗粒的MEMS超声分离器件的声学特性分析.pdfVIP

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2016-05-13 发布于安徽
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应用于微纳米颗粒的MEMS超声分离器件的声学特性分析.pdf

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FOR ACoUSTICCHARACTERANALYSIS0FMEMSUlTRASoNICDEVICE MICRO／NANon气RTICLESSEP：ARATIoN Hui GUO YANl3I QiLIU，Hang Xiamen 361005r China Micro-nano Centert Pen-tungSahTechnologyResearchUniversi纱’Xiamen Email：hangguo@xmu．cdu．cn Inthis acousticcharacterofanewMEMSdevicethatCall micro／nano on-chipby paper,the separate particles oftheacoustic theuseofbulk-modeexcitedmembranevibrationiSanalyzed．Twoparts field，i．e．，the themembranevibrationandthe causeAthefluid acoustic caused pressure by medium， pressureby damping arestudied causedbvsiliconnitridemembranevibrationinthe separately．Firstly,acousticpressure is theresultsfordevice’Sdifferent modesale microdevice analyzed，and working acoustic characterofthe membraneinthe iscausedfluid damping four-clamped device，whichby medium,is thataffectthe arediscussed．Basedonthese effectiveacoustic studied，factors dampingpressure analyses，the on is finiteelementmethodisusedto the the acting particlesobtained．Furthermore，the study pressure fieldofthedeviceandthedistributionofacoustic inthemicrodeviceis structure—fluid coupled pressure obtained。Theforacousticcharacterdiscussedinthis Canbeusedto vibrational