基于缺陷均匀分布的集成电路制造成品率及可靠性之间的关系模型.pdfVIP

下载本文档

2
0
约2.65万字
约 5页
2016-05-13 发布于安徽
举报
版权申诉

基于缺陷均匀分布的集成电路制造成品率及可靠性之间的关系模型.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第期电子学报８Ｖｏｌ．４０Ｎｏ．８年月２０１２８ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡＡｕｇ．２０１２基于缺陷均匀分布的集成电路制造成品率与可靠性之间的关系模型赵天绪，段旭朝（宝鸡文理学院计算与信息科学研究所，陕西宝鸡７２１０１３）摘要：在集成电路可制造性设计研究中，成品率与可靠性之间的关系模型备受人们关注缺陷对成品率和可．靠性的影响不仅与出现在芯片上的缺陷粒径大小有关而且与缺陷出现在芯片上的位置有关本文主要考虑了出现在．互连线上的金属丢失物缺陷对互连线的影响，分析了同一粒径的缺陷出现在互连线不同位置对互连线有效宽度的影响，给出了基于缺陷均匀分布的互连线平均有效宽度，结合已有成品率和可靠性估计模型，提出了基于缺陷位置信息的集成电路制造成品率与可靠性之间的关系模型在工艺线稳定的情况下，利用该工艺线的制造成品率可以通过该关．系式有效地估计出产品的可靠性，从而有效地缩短新产品的研发周期．关键词：成品率；可靠性；缺陷；粒径分布中图分类号：文献标识码：文章编号：（）ＴＮ４０６Ａ０３７２２１１２２０１２０８１６６５０５电子学报：：：ＵＲＬｈｔｔｐ／／ｗｗｗ．ｅｊｏｕｒｎａｌ．ｏｒｇ．ｃｎＤＯＩ１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．０３７２２１１２．２０１２．０８．０２７ＡＲｅｌａｔｉｏｎＭｏｄｅｌＢｅｔｗｅｅｎＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔＹｉｅｌｄａｎｄＲｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ ’ ＢａｓｅｄｏｎｔｈｅＤｅｆｅｃｔｓＵｎｉｆｏｒｍＤｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ，ＺＨＡＯＴｉａｎｘｕＤＵＡＮＸｕｃｈａｏ（，，，，）ＣｏｍｐｕｔａｔｉｏｎａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅＢａｏｊｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＡｒｔｓａｎｄＳｃｉｅｎｃｅｓＢａｏｊｉＳｈａａｎｘｉ７２１０１３Ｃｈｉｎａ：，ＡｂｓｔｒａｃｔＩｎｔｈｅｓｔｕｄｙｏｆＩＣｄｅｓｉｇｎｆｏｒｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｍｏｄｅｌｓｏｎｔｈｅｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｏｆｙｉｅｌｄａｎｄｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙｄｅｓｅｒｖｅｍｕｃｈａｔｔｅｎ ｔｉｏｎ．Ｔｈｅｉｍｐａｃｔｏｆｄｅｆｅｃｔｓｏｎｔｈｅｙｉｅｌｄａｎｄｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙｉｓａｓｓｏｃｉａｔｅｄｎｏｔｏｎｌｙｗｉｔｈｔｈｅｐａｒｔｉｃｌｅｓｉｚｅｏｆｉｔｂｕｔａｌｓｏｗｉｔｈｔｈｅｌｏｃａｔｉｏｎｏｆ，ｉｔｏｎｔｈｅｃｈｉｐ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒｉｔｉｓａｎａｌｙｚｅｄｔｈａｔｔｈｅｄｅｆｅｃｔｓａｔｔｈｅｓａｍｅｓｉｚｅｉｎｉｎｔｅｒｃｏｎｎ