电子光学基础.要点解析.ppt

* 电子光学基础 　　第一节 电子波与电磁透镜 一、光学显微镜的分辨率极限 分辨本领是指成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离。 光学显微镜的分辨本领为△r0=1/2λ式中 λ——照明光源的波长 上式表明，光学显微镜的分辨本领取决于照明光源的波长。在可见光波长范围，光学显微镜分辨本领的极限为2000A。 因此，要提高显微镜的分辨本领，关键是要有波长短，又能聚焦成像的照明光源。 1924年德布罗意(De Brolie)发现电子波的波长比可见光短十万倍。 又过了两年，布施(Busch)指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦。在此基础上， 1933年鲁斯卡(Ruska)等设计并制造了世界上第一台透射电子显微镜。 二、电于波的波长 电子显微镜的照明光源是电子波。电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，即 λ=h / mv 式中 λ——普朗克常数； m——电子的质量； v——电子的速度，它和加速电压U之间存在下面的关系 如果电子速度较低，则它的质量和静止质量相近，即m＝m0。如果加速电压很高，使电子具有极高的速度，则必须经过相对论校正，此时 可见光的波长在3900—7600A之间，从计算出的电子波波长来看，在常用的100~200 kv加速电压下，电子波的波长要比可见光小5个数量级。 三、电磁透镜 透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置是电磁透镜。 通电的短线圈就是一个简单的电磁透镜，它能造成一种轴对称不均匀分布的磁场。 磁力线围绕导线呈环状，磁力线上任意一点的磁感应强度B都可以分解成平行于透镜主轴的分量Bz和垂直于透镜主轴的分量Br。 速度为v的平行电子束进入透镜的磁场时，位于A点的电子将受Br分量的作用。根据右手法则，电子所受的切向力Ft的方向如图7—1(b)所示。 Ft使电子获得一个切向速度Vt。Vt随即和Bz分量叉乘，形成了另一个向透镜主轴靠近的径向力Fr使电子向主轴偏转(聚焦)。 当电子穿过线圈定到B点位置时，Br的方向改变了180度。Ft随之反向．但是Ft的反向只能使Vt变小，而不能改变Vt的方向，因此穿过线圈的电子仍然趋向于向主轴靠近。 结果使电子做如图7—I(c)所示那样的圆锥螺旋近轴运动。 一束平行于主抽的入射电子束通过电磁透镜时将被聚焦在轴线上一点，即焦点，这与光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光的聚焦作用十分相似。 图7—2为一种带有铁壳的电磁透镜示意图。 导线外围的磁力线都在铁壳中通过，由于在软磁壳的内侧开一道环状的狭缝，从而可以减小磁场的广延度，使大量磁力线集中在缝隙附近的狭小区域之内，增强了磁场的强度。 为了进一步缩小磁场轴向宽度，还可以在环状间隙两边，接出一对顶端成圆锥状的极靴，如图7—3所示。带有极靴的电磁透镜可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内。 图7—3(c)给出裸线圈，加铁壳和极靴后透镜磁感应强度分布。 与光学玻璃透镜相似，电磁透镜物距、像距和焦距三者之间关系式及放大倍数为 式中f—焦距； Ll——物距： L2——像距； M——放大倍数。 电磁透镜的焦距可由下式近似计算 式中k——常数； Ur——经相对论校正的电子加速电压； (IN)——电磁透镜激磁安匝数。 从式中可看出，无论激磁方向如何，电磁透镜的焦距总是正的。改变激磁电流，电磁透镜的焦距和放大倍数将发生相应变化。因此，电磁透镜是—种变焦距或变倍率的会聚透镜，这是它有别于光学玻璃凸透镜的一个特点。 ((（a） 极靴组件分解：(b)有极靴电磁透镜剖面；(c)三种情况下电磁透镜轴向磁感应强度分布 第二节电磁透镜的像差与分辨本领 一、像差 像差分成两类，即几何像差和色差。 1．几何像差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的。几何像差主要指球差和像散。 2．色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 下面我们将分别讨论球差、像散和色差形成的原因并指出减小这些像差的途径。 (一)球差 球差即球面像差，是由于电磁透镜的中心区域和边缘区域对电子的折射能力不符合预定的规律而造成的。 离开透镜主轴较远的电子(远轴电子)比主轴附近的电子(近轴电子)被折射程度过大。当物点P通过透镜成像时，电子就不会会聚到同一焦点上，从而形成了一个散焦斑，如图7-4所示。