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建模和动态自持静电微机电系统 本文论述了自我维持的静电微机电系统模型的研究(MEMS)。电气部分包含两个非线性组件：具有负斜率的电流 - 电压特性，和非线性电阻电容器，具有立方形式作为电荷 - 电压特性。模态近似和有限差数值格式用于分析动态该系统的行为：共振振荡和分岔图导致混乱被观察到的极化电压的一些值。的应用程序的提示装置给出。[DOI: 10.1115/1.4000827] 关键词：自持静电MEMS谐振振荡，混沌 介绍 由于理查德·费曼给出的谈话题为“有足够的空间在底部“在加州技术研究所1959年12月 。[1]，微观科学界已经出现了越来越大的兴趣。时下，技术的进步已启用工程系统的制造降低到微米和纳米尺度。它们是由（机械分支，梁，板，齿轮，和膜）和微电子为电路电气分公司。为此原因， 这些系统一般都是称为微机电系统(MEMS）或纳机电系统(NEMS) 两个基本的方法用于在MEMS技术。用于感测应用中，一个直流偏振被施加到系统[2]。当目标被周期性地找到或随机，机械手臂（这是一个移动电极平行板电容器）,直流构成的电信号的极化和交流分量被用来激发谐波运动或复杂的动力学[3-11]。直流电流是用来实现梁的永久位移。 MEMS器件的应用程序被发现在国防，医疗手术，汽车行业，和生物学。 尽管取得了成功，许多基本问题仍持有注意。一些当前的问题如下：拉入现象时，挤压阻尼，并且非多项式形成静电力。在大多数现有的MEMS的，如该电压加在电容器两端直接施加（医学部分）所得的静电力是一个双曲线函数机械位移。为了分析调查，1通常由一个多项式函数近似的静电力截短在第一阶段，第二阶段，或第三阶段[3–8,10,11]用于优化目的，在电极之间的间隙被最小化 和梁[梁制作电极的大小最大化]。这一事实使挤压膜阻尼更多的效果宣判。因此，该装置的建模方程是更为复杂。尤尼斯和Nayfeh认为[6,12]最近提出一个稳健的方法研究这些MEMS结构体的行为。该方法是基于有限元法和扰动技术。拉入现象定义了操作条件，导致该装置的不稳定。也有不少贡献关于这个问题，经常性解决方案是基于参变激励，所建议的罗兹等人。[11]和克雷洛夫 和同事[2,10]。然而，反馈控制算法也用在该目标[8]。 当MEMS和NEMS提交给交流信号，这些都显示很复杂的行为[3,4,7–11]的复杂性是在机械和传感部件的非线性的结果。 能有这样的复杂性的一种方法是引入或考虑到帐户的电器元件的非线性特性的设备。近日，Taffoti Yollong和纬[13]提出了 由一个杜芬电振荡器耦合到钳位钳位柔性梁的实施方案的模型看作移动线性电容的电极。他们提出的系统的行为的丰富性和对在这样的MEMS的移位不变网络的完整的同步的条件。 本文件的目的是模拟和学习的自我维持微机电系统，其中所述自持振荡从电气部件始发的行为。事实上，导致形式微显示积分用自我维持的可能性电子电路在机电装置，以执行其运作;采用合适的电路范德波尔和瑞利振荡器[14-16]。这些最初的研究指导下，正考虑本文自激MEMS电容式耦合。该装置动力学建模表明，它是由偏微分方程描述（柔性梁或手臂）耦合到非线性微分方程（电电路）通过使用伽辽金模式的做法，一组两个耦合微分方程得到，并且构成的基础对于该数值研究的分析和零件。这是辅之以通过有限差分法离散偏微分方程的直接数值模拟。重点是在共振和分岔图就 振荡显示周期性的动态和混乱状态的地区。 本文的要点如下：第2节论述了使用动态牛顿定律和基尔霍夫定律器件建模。在秒。如图3所示，模态近似进行和有限差分数值方案。该器件的动态行为二段进行了分析。 4，使用多时间尺度方法和数值模拟。我们的结论在秒。 5，给应用程序的设备和它的一些 提示在工程动力学行为0。 自持静电MEMS 自持静电电路 该装置是呈现在图非线性电路的1.构成和板状电容器与一个光束固定，另一柔性。 图1 自持的MEMS 电气部分由非线性电阻NLRA非线性电容NLC C和电感器L，所有连接在系列。电容器两端的电压是一个非线性函数 瞬时电荷并表示为 + （1） 其中是电容器的线性部分的电容和为非线性系数取决于电容器的类型[17]电阻器的电流 - 电压特性被给定为 （2） 其中，是特征电阻和电流，分别与是电流通过电阻器。此非线性电阻器可以用由两个块来实现晶体管[18],一系列二极管[19],或运算放大器和二极管[20]与此电阻，该系统具有的属性，以具有自激振荡。电感器的电流 - 电压特性是