第1章半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCAD技巧.ppt

*/117 产生原因：击穿点附近，电流变化太迅速，基于原来的初始解A，通过一个仿真步长，电压变化△V，此时假定下一点处于B点，而假定点B和真实点C之间的电流变化量△I太大，程序无法通过迭代获得正确点，因此始终无法收敛。 * 浙大微电子 */117 解决方法 Electrode { { Name=anode Voltage=0.0 resistor=3e9} { Name=cathodeVoltage=0.0 } { Name=sub Voltage=0.0 } } * 浙大微电子 */117 初始解的不收敛 初始解的不收敛就是仿真的第一个点就无法收敛： ①由于初始解具有较大的随机性，因此当它进行迭代的时 候，如果要同时满足多个方程的收敛相对较为困难； ②由于某个电极上的初始电压值给得过高，难以建立初始解。 * 浙大微电子 */117 ①的解决方法 Solve{ Coupled{Poisson Electron Hole Temperature } Quasistationary{……} Coupled{Poisson Electron Hole Temperature} } Solve{ Poisson Coupled{Poisson Electron} Coupled{Poisson Electron Hole } Quasistationa