Pulsed glow discharges for analytical applications脉冲辉光放电在分析上的应用—质谱资料.doc

脉冲辉光放电在分析上的应用 Ph. Belenguer, M. Ganciu, Ph. Guillot, Th. Nelis, 摘要：非平衡等离子体，如辉光放电，已用于直接分析固体材料表面。在过去的20年，有几个研究小组了脉冲辉光放电咋分析中的应用。欧洲两个项目，EMDPA和GLADNET，目前的工作就是辉光放电在分析上的应用，尤其是脉冲放电。本综述通过说明如何在等离子体点火阶段和余辉中观察到的特定的激发和电离过程可用于分析应用表明脉冲放电操作的优点。 在审查的第一部分的等离子体点火和脉冲等离子体的余辉期间发生的占主导地位的物理过程进行了综述。这两个阶段中，电子和溅射原子的人口的演变进行了讨论和相关的激发和电离过程。鉴于发生的过程的复杂性和各种中发表的论文提出的实验条件下，我们取得了一些努力，以指向出和比较中使用的各种实验调校的相关特征。在这次审查中的第二部分，脉冲放电两种质谱法和光发射技术的分析应用的介绍和讨论。在特定的时间分辨的信号采集的重要性指出。为什么脉冲状放电尚未在常规分析引入，尽管他们在连续模式明显的优点的问题进行了讨论。最后一个脉冲的辉光放电的应用表面和聚合物多层的界面分析的第一令人振奋的结果被示出。 引言 辉光放电（GD），其耦合到光发射（GDOES）或质谱（GDMS），现在是一个建立的技术用于固体样品[1,2]直接分析。特别是，当格林型源[3]使用或基于格林几何修改设计[4-7]辉光放电分析仪器赞赏他们精湛的深度解析[8,9]。相对的易用性和数据解释[10]直线卤莽也都赞赏分析师。商业GD光谱仪采用直流电源为导电和不导电的样品[11]的导电材料和RF源和覆盖大范围的应用[12]。 GDOES仪用于均匀样品的批量分析以及用于表面，深度分布和界面分析。采用高分辨率的扇形场光谱仪GDMS仪器能提供在低ppb级[13]和超越，但检测限;由于连续离子检测，应用这些仪器的领域被限制为散装分析和相当厚的层在微米范围[14,15]的可能深度方向分析。 脉冲辉光放电提供了许多优点[16]。之一是提供通过选择脉冲参数，如脉冲长度和周期控制等离子体的附加方式，为了选择最佳的放电条件（图1）。另一个有趣的特性是瞬时功率，负责溅射，激发和离子化的产量可以被选择几乎独立于负责对样品的热应力的平均功率，通过改变所施加的脉冲的占空比。最后在一个单一的脉冲不同的放电过程发生在不同的时间，允许选择性测量，如果一个时间分辨获取可用[17]。 根据格林源的第一光学辉光放电光谱仪，是由呼吸道合胞病毒在上世纪80年代商业化。他们使用的脉冲（400Hz）的直流电源。在这些仪器中，平均放电功率通过改变脉冲的占空比固定于瞬时励磁电压适合于分析的需要。后来，当表面与界面分析成为GDOES法应用最重要的领域，不断源被使用。如今，许多高档仪器再次配备了可选的脉冲源，但据我们所知，没有任何商用仪器的利用调制激发和时间分辨数据采集（除日本[提供堀场制作所本地可用系统的内在优势18]）。 通过比较，在火花-OES和原子吸收光谱法[19]，相当大的改进的分析性能使用时间分辨检测和数据分析技术已实现的。 2.物理方面 本次审查涉及的脉冲辉光放电的分析应用。理解脉冲辉光放电的分析利益需要一些洞察底层物理过程。首先，我们将讨论在辉光放电发生的主要过程的时间特性，并就sheaths.We的动态部分的信息，并集中在点火阶段的余辉。 2.1。等离子体过程的特征时间 我们可以区分在脉冲放电（图1）三个不同的阶段：点火和稳定进程，稳定运行（“平坦区”）和余辉。当电力被供给到气体体积，稳态操作不能立即达到;稳定化过程中需要一些时间。同样，当提供给放电的电功率被切断，放电不会立即消失，这个过程也需要一些时间。以下断电的相位被称为余辉。期间都点火阶段和余辉的稳定时间在很大程度上取决于载气，其压力和实验装置中的放电单元的特定的几何构型。如果脉冲长度足够长，稳定运行时，才能达到。对于短脉冲，没有获得稳定的操作和三个阶段可以没有任何更多加以区分。 一个脉冲放电导致一定是一个暂时性等离子体。对于各相的充分表征，我们需要比较外部施加扰动的特征时间，即所施加的电压，以便在放电的相出现的最显著物理过程的特征时间。这些过程是现场电子相互作用，电子中性碰撞，扩散过程和热效应，既影响了气体和反应器温度。 为了估计不同的特征时间或频率，我们认为电子与6V的在130巴氩气放电平均能量。估计时间是根据由伯夫[20]发表了一篇文章提供的信息。 对于等离子体和电场我们可以给两个特征频率之间的相互作用：等离子体频率，ωP（式（1）），和麦克斯韦松弛频率，νM（公式（2）。）。两个频率强烈地依赖于等离子体密度。 ?麦克斯韦尔弛豫时间取决于压力为好，因为它被连接到电荷载体的流动性。它描述了所需的插入等离子体过量电荷被中和的时间。