薄膜(超)高反射率的测量方法研究讲课.docxVIP

电子科技大学光电信息学院 课程设计论文 课程名称 物理光学 题目名称 薄膜（超）高反射率的测量方法研究 学 号 2012059090009 2012059090006 2012059090004 姓 名 胡晨瑞 冯超 陈祥民 指导老师 肖峻 起止时间 2014-11-26-----2015-1-5 2015年1 月 3 日 x12．薄膜（超）高反射率的测量方法研究 摘要：分析薄膜反射率的条件，查阅相关文献，根据其条件提出了基于光腔衰荡的反射率测量技术，并对其进行了精度分析和误差分析，提出了提高精度的办法。其技术结构简单，易调节，可以测量任意角度的反射率，测量结果精确，可满足高反镜片的各种测量要求。 关键词：薄膜高反射率 光腔衰荡 测量方法 引言：现有的反射率检测方法，如光透射法、多次反射法等，已无法满足高反射率的测量要求。光腔衰荡光谱技术（Cavity Ringdown Spectroscopy, CRDS）是一种高灵敏吸收光谱探测技术。较传统的光谱测量方法，如腔内吸收探测法、长程吸收探测法、激光诱导荧光方法（LIF）、共振增强多光子电力方法（REMPI）等，CRDS具有灵敏度高、不受激光能量起伏影响、装置结构简单、易调节等优点。自1988 年O’Keefe与Decon成功运用光腔衰荡方法探测氧分子的吸收以来，CRDS技术获得了迅速的发展和应用。光学谐振腔内光能的损耗包括衍射、散射、吸收和透射等。在一定的实验条件下，可以只考虑腔镜的透射损耗，在此基础上则可以将光腔衰荡光谱技术用于高反射率腔镜反射率的测量。从CRDS技术的发展历史看，腔衰荡技术最初即是用于镜片反射率的测量。采用光腔衰荡的反射率测量从理论上可以实现对任意高反射率的测量，采用折迭型光腔还可以实现对任意角度反射率的测量，较传统测量方法有着无可比拟的优势。 薄膜反射率的相关条件 薄膜的反射率 设在一平面玻璃基片上镀上一层折射率为n 的均匀薄膜, 膜厚为h,如图所示,薄膜两边的媒质折射率分别为n0 和ng. 当光束入射到薄膜上表面时, 会得到一系列互相平行的反射光束1′, 2′, 3′?, 和透射光束1′,2′, 3′?, 应用多光束干涉原理可以得到反射光的合成振幅, 从而可以得到反射光强度: 式中r1, r2 为入射光束在薄膜上下表面的反射率, D 为反射光束中相邻光之间的相位差, I0为入射光强度, 其中i 为折射角.在正入射的条件下, 有: 将上式代入反射光强度公式中, 可以得到薄膜光强的反射率: 在没有镀膜时, 光强的反射率为： 薄膜光强反射率与nh/λ的关系 在正入射条件下, 取n0= 1, ng= 1. 5 薄膜光强反射率与nh/λ的关系曲线如图所示, 图中纵坐标为薄膜光强反射率, 横坐标为nh/λ由图可以看出: 在没有镀膜时, 入射光强的反射率为一定值, 在图中为一平行于横轴的直线. 在镀膜时, 薄膜光强反射率随nh/λ呈周期性的变化, 其值大于或小于R 0, 说明光学薄膜可以增强或者减弱反射光(透射光). 当n0 n ng 时, 其反射率大于R 0, 反射光强度加强, 光学薄膜为增反膜; 当n0 n ng 时, 其反射率小于R 0, 根据能量守恒, 则透射光强度增加, 此时光学薄膜为增透膜. 这就是光学薄膜为增反膜(增透膜) 其折射率应满足的条件. 上图中我们可以看出, 当nh/λ= 0. 5k , (k= 0, 1, 2, ?) 时, 薄膜反射率R 与R 0 相等, 说明该光学薄膜不起作用. 我们以增反膜为例分析其因: 若nh= kK, 对增反膜有n0 n ng , 则图1 中光束1, 2, 3?在正入射条件下的相干条件为: 始终满足相干光干涉相消条件, 因而薄膜不起作用. 对于增透膜也是如此, 因而在这些点上R 与R 0 相等. 上图中只有当nh/λ= 0. 25 k, (k= 1, 3, 5, 7?) 时, 增透膜R 才能达到最大值, 增反膜R 达到最小值,也就是全透或者全反条件. 同 2) 中所述, 光束1, 2, 3?(1′, 2′, 3′?) 满足的相干条件为: 为相干光干涉加强条件. 薄膜反射率