第五章扫描探针加工技术介绍.pptVIP

;引言 扫描探针显微镜的产生及原理 扛蚀剂曝光加工 局部氧化加工 添加式纳米加工 抽减式纳米加工 高产出率扫描探针加工;扫描探针加工技术出现于扫描隧道显微镜发明以后 长时间使用STM观察硅后，在样品表面留下了一些扫描线图形。 这些图形是表面局部氧化现象。 标志着扫描探针加工的开始。 扫描隧道显微镜STM,原子力显微镜AFM,近场扫描光学显微镜NSOM 统称扫描探针显微镜SPM;优点： 简单易操作 任何探针都可以附带进行纳米加工 局限性： 加工精度有限: 几十纳米 加工深度有限：几十纳米 加工速度低：扫描速度低，每秒微米亚微米 加工面积小：几十微米;扫描探针显微镜的产生的必然性;扫描探针显微镜的产生的必然性;纳米科技突飞猛进的发展;*;扫描探针显微镜的产生;*;经典物理学: 物体越过势垒，有一阈值能量；粒子能量小于此能量则不能越过，大于此能量则可以越过。 量子力学: 即使粒子能量小于阈值，很多粒子冲向势垒，一部分粒子反弹，还会有一些粒子能过去，好像有一个隧道，故名隧道效应。就像在山坡上开一隧道，自行车从中穿过一样。可见，宏观上的确定性在微观上往往就具有不确定性。;*;*;电子围绕原子核转一周大约需要150阿秒的时间(1阿秒=10-18 秒);由于电子的隧道效应，金属中的电子并不完全局限于表面边界之内。即，电子密度并不在表面边界突然降为零 如果探针和待测样品互相靠得很近，那么，它们表面的电子云就可能发生重叠。如果在两金属之间加一微小电压Vt，那就可以观察到它们之间的电流Jt(隧道电流） 隧道电流强度对针尖和样品之间的距离有着指数的依赖关系 ;STM基本原理;*;极细探针与研究物质作为两个探极;恒电流式：适观察表面形貌起伏较大样品。 恒高式：扫描速度快，减少噪音等，不能用于观察表面起伏大于1nm 的样品。;槽宽=253.4nm 槽深=35.294nm 条宽=154.2nm ;两个Si原子的二聚体结构;移动铁原子，观察到电子波;Courtesy: Dr. Eigler (IBM Almaden);Courtesy: Dr. Eigler (IBM Almaden); 一氧化碳“分子人”;1985年，IBM公司的Binning和Stanford大学的Quate研发出了原子力显微镜（AFM），弥补了STM的不足，可以用来测量任何样品的表面。 ;AFM是利用原子之间的范德华力（Van Der Waals Force）作用来呈现样品的表面特性。 两个原子之间的作用力与他们之间距离有关 原子力显微镜就是利用原子之间微妙的关系来把原子样子给呈现出来。;将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触， 针尖原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂在垂直于样品的表面方向起伏运动。 利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面的形貌。 获得样品表面形貌是通过检测微悬梁位置的变化而实现的。 检测微悬梁位置变化的主要有： 隧道电流法和激光检测法。 ;检测器能精确检测到反射激光光斑上下左右的移动。 此信息经反馈系统转化为控制压电扫描器的电压信号。样品表面每一点上压电扫描器的起伏信息被计算机记录,经信号转换处理后获得样品图象。;隧道电流法： 基于STM原理实现的。将微悬梁看成样品，在微悬梁上还有一微小探针接触。微悬梁和探针间施、加一偏置电压，他们之间便产生了隧道电流。当微悬梁因为和样品间的原子间力的作用而位置发生改变，那么他和探针之间的位置也发生相应的变化，导致隧道电流发生指数级的变化，那么测量原理就变成了STM的测量原理了。 激光检测法 二极管激光器发出的激光束经过光学系统聚焦在微悬臂背面，并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器。在样品扫描时，由于样品表面的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相互作用力，微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏，反射光束也将随之偏移，因而，通过光电二极管检测光斑位置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。目前的AFM都是采用这种检测模式。;接触模式： 微悬臂探针紧压样品表面，检测时与样品保持接触，作用力（斥力）通过微悬臂的变形进行测量。? ??? 该模式下，针尖与样品表面相接触，分辨率高，但成像时针尖对样品的作用力较大，适合表面结构稳定的样品。 轻敲模式： 用处于共振状态、上下振荡的微悬臂探针对样品表面进行扫描，样品表面起伏使微悬臂探针的振幅产生相应变化，从而得到样品的表面形貌。