数字集成电路第3章研讨.ppt

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数字集成电路第3章研讨

第三章 集成电路电路中的无源元件;;集成电路电路中的无源元件;集成电阻器分类;;基区扩散电阻 ;;;基区扩散电阻最小条宽的设计;由设计规则决定最小扩散条宽 ;由工艺水平和电阻精度决定;由工艺水平和电阻精度决定;由工艺水平和电阻精度决定;由流经电阻的最大电流决定 ;;基区扩散电阻的温度系数TCR;;发射区(磷)扩散电阻;;;;隐埋层电阻;;基区沟道电阻;;外延层电阻(体电阻);;;离子注入电阻;;;MOS集成电路中常用电阻 多晶硅电阻;用MOS管形成电阻;用MOS管形成电阻;集成电容器;;反偏PN结电容器 ;;;MOS电容器 ;MOS电容器特点 ;;感应沟道的单层多晶硅MOS电容;;双层多晶硅MOS电容;互连线(广义上也为一元件);金属膜连线;金属膜连线;金属膜连线;扩散区连线 ;多晶硅连线;交叉连线;交叉连线;;;

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